Вхідні кільця MOCVD

Semicorex є великим виробником і постачальником графіту з карбідом кремнію в Китаї. Наші впускні кільця MOCVD мають гарну цінову перевагу та охоплюють багато європейських та американських ринків. Ми сподіваємося стати вашим довгостроковим партнером.

Надіслати запит

Опис продукту

Semicorex постачає вхідні кільця MOCVD, які використовуються для осадження та обробки пластин, які справді стійкі до RTA, RTP або жорсткого хімічного очищення. Наші впускні кільця MOCVD мають графітову конструкцію з покриттям з карбіду кремнію (SiC) високої чистоти, яка забезпечує чудову термостійкість, рівномірну термічну однорідність для стабільної товщини епі-шару та стійкості, а також тривалу хімічну стійкість. Тонке кристалічне покриття SiC забезпечує чисту, гладку поверхню, що має важливе значення для роботи, оскільки незаймані пластини контактують із сенсором у багатьох точках по всій площі.

У Semicorex ми зосереджені на забезпеченні високоякісних, економічно ефективних вхідних кілець MOCVD, ми надаємо пріоритет задоволенню клієнтів і пропонуємо економічно ефективні рішення. Ми з нетерпінням чекаємо можливості стати вашим довгостроковим партнером, пропонуючи високоякісні продукти та виняткове обслуговування клієнтів.

Параметри вхідних кілець MOCVD

Основні характеристики покриття CVD-SIC
Властивості SiC-CVD
Кристалічна структура	FCC β фаза
Щільність	г/см³	3.21
Твердість	Твердість за Віккерсом	2500
Розмір зерна	мкм	2~10
Хімічна чистота	%	99.99995
Теплоємність	Дж кг-1 К-1	640
Температура сублімації	℃	2700
Згинальна сила	МПа (RT 4 точки)	415
Модуль Юнга	Gpa (вигин 4 точки, 1300 ℃)	430
Теплове розширення (C.T.E)	10-6К-1	4.5
Теплопровідність	(Вт/мК)	300