Вхідні кільця MOCVD

Semicorex постачає вхідні кільця MOCVD, які використовуються для осадження та обробки пластин, які справді стійкі до RTA, RTP або жорсткого хімічного очищення. Наші впускні кільця MOCVD мають графітову конструкцію з покриттям з карбіду кремнію (SiC) високої чистоти, яка забезпечує чудову термостійкість, рівномірну термічну однорідність для стабільної товщини епі-шару та стійкості, а також довговічну хімічну стійкість. Тонке кристалічне покриття SiC забезпечує чисту, гладку поверхню, що є критично важливим для роботи, оскільки незаймані пластини контактують із сенсором у багатьох точках по всій площі.

У Semicorex ми зосереджені на забезпеченні високоякісних, економічно ефективних вхідних кілець MOCVD, ми надаємо пріоритет задоволенню клієнтів і пропонуємо економічно ефективні рішення. Ми з нетерпінням чекаємо можливості стати вашим довгостроковим партнером, пропонуючи високоякісні продукти та виняткове обслуговування клієнтів.

Параметри вхідних кілець MOCVD

Особливості вхідних кілець MOCVD

- Хороша щільність і може відігравати хорошу захисну роль у високотемпературних та корозійних робочих середовищах.

- Висока температура плавлення, стійкість до окислення при високій температурі, стійкість до корозії.