MOCVD Planet Susceptor for Semiconductor

Semicorex є надійним ім’ям у напівпровідниковій промисловості, що надає високоякісний MOCVD Planet Susceptor для Semiconductor. Наш продукт розроблений для задоволення особливих потреб виробників напівпровідників, які шукають носій, який може забезпечити чудову продуктивність, стабільність і довговічність. Зв’яжіться з нами сьогодні, щоб дізнатися більше про наш продукт і про те, як ми можемо допомогти вам із вашими потребами у виробництві напівпровідників.

Надіслати запит

Опис продукту

Наш MOCVD Planet Susceptor для напівпровідників має стійкість до високотемпературного окислення, що забезпечує його стабільність при високих температурах до 1600°C. Він також має високу чистоту, виготовлений шляхом хімічного осадження з парової фази CVD в умовах високотемпературного хлорування, що забезпечує однорідність і консистенцію продукту, рівномірний термічний профіль і ламінарну схему потоку газу.
Зв’яжіться з нами сьогодні, щоб дізнатися більше про наш MOCVD Planet Susceptor for Semiconductor.

Параметри MOCVD Planet Susceptor для Semiconductor

Основні характеристики покриття CVD-SIC
Властивості SiC-CVD
Кристалічна структура	FCC Î² фаза
Щільність	г/см³	3.21
Твердість	Твердість за Віккерсом	2500
Розмір зерна	Î¼m	2~10
Хімічна чистота	%	99.99995
Теплоємність	Дж·кг-1 ·К-1	640
Температура сублімації	℃	2700
Згинальна сила	МПа (RT 4 точки)	415
Модуль Юнга	Gpa (вигин 4 точки, 1300 °)	430
Теплове розширення (C.T.E)	10-6К-1	4.5
Теплопровідність	(Вт/мК)	300

Характеристики графітового чутливого елемента з покриттям SiC для MOCVD

- Уникайте відшаровування та забезпечте покриття на всій поверхні
Стійкість до високотемпературного окислення: стабільна при високих температурах до 1600°C
Висока чистота: виготовлено методом CVD хімічного осадження з парової фази в умовах високотемпературного хлорування.
Стійкість до корозії: висока твердість, щільна поверхня і дрібні частинки.
Стійкість до корозії: кислоти, луги, солі та органічні реагенти.
- Досягнення найкращої ламінарної моделі потоку газу
- Гарантія рівності теплового профілю
- Запобігайте будь-якому забрудненню або дифузії домішок