1x2" графітові пластини

При виготовленні напівпровідникової пластини епітаксіальний шар потрібно вирощувати на підкладці пластини для подальшого виготовлення напівпровідникових приладів. Оскільки процес епітаксійного росту дуже чутливий до температурних коливань і забруднення, вибір надійнихпластинчасті приймачіє критично важливими. Як незамінні допоміжні частини в процесі епітаксійної обробки пластин, точність обробки, здатність до терморегуляції та стійкість до забруднення є вирішальними факторами для досягнення високоякісного епітаксійного росту пластин.

Функції графітових пластин Semicorex 1x2".

Виготовлені з наддрібного графіту високої чистоти в якості матриці з щільним покриттям з карбіду кремнію за допомогою спеціальних процесів, графітові пластини Semicorex 1x2" приймачі забезпечують такі функції:

1. Безпечне та застаріле проведення

Semicorex 1x2"графітпластинчасті приймачі мають точну механічну обробку та обробку, забезпечуючи виняткову площинність поверхні та точність розмірів. Це забезпечує їх надійне закріплення у відповідному положенні та забезпечує стабільну плоску опорну платформу для епітаксійного росту пластин.

2. Точний рівномірний розподіл тепла

Завдяки чудовій теплопровідності матеріалів із графіту та SiC графітові пластини Semicorex 1x2" забезпечують швидкий і рівномірний розподіл тепла по напівпровідниковій речовині. Зводячи до мінімуму градієнти температури, графітові пластини Semicorex 1x2" можуть ефективно уникати таких проблем, як нерівномірна якість епітаксію та концентрація напруги.

Переваги покриття з карбіду кремнію Semicorex

1. Чудова стійкість до корозії

Покриті щільним покриттям з карбіду кремнію, графітові пластини Semicorex 1x2 дюймів ефективно стійкі до більшості хімічних речовин, що робить їх придатними для застосування в умовах високої корозії, коли матеріал часто піддається впливу корозійних газів і хімічних парів.

2. Низьке виділення частинок

Напівкорекспокриття з карбіду кремніюмає високу міцність зчеплення з графітовою матрицею, що дозволяє значно уникнути ризику забруднення основи через відшарування покриття внаслідок корозії та випадання частинок, викликане середовищем із високим рівнем корозії.

3. Надійний термін служби

Незважаючи на те, що графітові матриці демонструють чудову термічну стабільність і механічну міцність, вони схильні до корозії та розпилення в робочих умовах епітаксійного процесу, що значно скорочує термін служби графітових матриць без покриття. Завдяки повній інкапсуляції графітових матриць із щільним покриттям SiC, наші графітові пластини 1 × 2 дюйма приймачі забезпечують чудову та надійну довговічність.

Матеріальні дані покриття Semicorex SiC