Сухе травлення є основною технологією у виробничих процесах мікроелектромеханічних систем. Продуктивність процесу сухого травлення безпосередньо впливає на структурну точність і робочі характеристики напівпровідникових приладів. Щоб точно контролювати процес травлення, слід звернути пильну увагу на ......
ДетальнішеАеростатична напрямна з карбіду кремнію – це передова система напрямних, яка поєднує в собі властивості карбіду кремнію та аеростатичну технологію. Обслуговуючи як оптимальне рішення для високоточних, високонадійних і довготривалих систем руху, аеростатична напрямна карбіду кремнію широко використов......
ДетальнішеОсновним методом отримання монокристалів карбіду кремнію є метод фізичного переносу пари (PVT). Цей метод в основному складається з порожнини кварцової трубки, нагрівального елемента (індукційної котушки або графітового нагрівача), ізоляційного матеріалу з вуглецевого графіту, графітового тигля, зат......
ДетальнішеSOI, скорочення від Silicon-On-Insulator, — це процес виробництва напівпровідників на основі спеціальних матеріалів підкладки. З моменту індустріалізації у 1980-х роках ця технологія стала важливою галуззю передових процесів виробництва напівпровідників. Відрізняючись унікальною тришаровою композит......
ДетальнішеЕлектростатичний патрон виконує кілька функцій, таких як рівномірний електростатичний розряд, теплопровідність і адсорбція та фіксація пластин у сфері виробництва напівпровідників. Однією з основних функцій ESC є стабільна адсорбція пластин в екстремальних умовах експлуатації, таких як високий вакуу......
Детальніше