Планетний чутник

Semicorex Planetary Hersceptor - це незамінний компонент для напівпровідникових епітакси -реакторів, спеціально розроблених для обладнання Aixtron G5+. Побудований з графіту високої чистоти тапокритий кремнієвим карбідом (sic), цей чуткетник гарантує чудову термічну стійкість, виняткову хімічну стійкість та неперевершену продуктивність у високотемпературних умовах.

Реактор епітакси Aixtron G5+ виступає як орієнтир у галузі для зростання ганів, SIC та інших сполук напівпровідників. Планетний сприйнятник є ключовим для оптимізації потоку газу, забезпечення точного обертання вафель, підтримки точного контролю температури та досягнення рівномірного осадження епітаксіальних шарів. Його інноваційний дизайн значно підвищує повторюваність процесу, що робить його ідеальним вибором для виробничих середовищ з великим обсягом.

Основні особливості  

- Розширений склад матеріалу: виготовлений з графіту високої чистоти з покриттям SIC, забезпечуючи підвищену міцність та стійкість до суворих умов процесів.  

- Оптимізовані теплові показники: забезпечує рівномірний розподіл тепла, критичні для високоточного зростання епітаксіального шару.  

- Хімічна стійкість: покриття SIC запобігає окисленню графіту, розширення терміну експлуатації чутливості та підтримання чистоти процесу.  

- Precision Engineering: Розроблена для задоволення суворих вимог систем Aixtron G5+, що забезпечує безшовну інтеграцію та оптимальну ефективність реактора.  

- Висока рівномірність поверхні: мінімізує забруднення частинок, підтримуючи верхню якість вафель та більший вихід у виробництві напівпровідників.  

Переваги нашого планетарного серйозного  

- Розширений термін служби:SIC покриттяЗначно зменшує знос, що призводить до зниження частоти заміни та зменшення експлуатаційних витрат.  

- Поліпшена стабільність процесу: забезпечує постійне нагрівання та мінімальні теплові градієнти, що призводить до високоякісного виробництва вафель.  

- Сумісність та налаштування: доступні в стандартних та індивідуальних конструкціях для задоволення конкретних вимог до процесу Aixtron G5+.  

ГрафітЧастини відіграють незамінну і дуже важливу роль у напівпровідниковому процесі. Якість графітових матеріалів має великий вплив на якість готової продукції. Наша графітова партія Консистенція та гомогенність матеріалу можна контролювати та гарантується через виробничий процес.

1. Невелика виробництво партії, карбонізаційна піч використовує лише невелику піч із лише 50 кубічних метрів

2. Кожен шматок матеріалу контролюється та відстежується

3. Багатоточковий моніторинг температури в просторі печі, щоб переконатися, що різниця температури зберігається в дуже малому діапазоні

4. Багатоточковий моніторинг температури на матеріалі, щоб переконатися, що різниця температури зберігається в дуже малому діапазоні

Планетарний серплет Semicorex є преміальним рішенням для реакторів Aixtron G5+, що пропонує видатну термічну стійкість, хімічну стійкість та точні показники. Проектувавши для найвибагливіших напівпровідникових процесів виробництва, він сприяє підвищенню врожаю пластини, мінімізує ризик забруднення та розширює термін експлуатації обладнання. Оновіть свою систему епітакси за допомогою вищого рівня для неперевершених результатів.