Пористий SIC Chuck

Semicorex Porous SIC Chuck - це керамічна частина, яка була зібрана з точністю для безпечного, ефективного поводження з підкладками вафельних виробів для напівпровідникових застосувань за допомогою кроків, таких як огляд, тестування та літографія. Чак виготовляється з мікропориста кремнієва карбідна кераміка (SIC). SIC має властивості механічної міцності, хімічної стійкості та термічної стійкості, необхідних для передового напівпровідникового виробництва.

Основною характеристикою пористого SIC Chuck є його унікальна мікроструктура, яка демонструє пористість 35%-40%. З пористістю тісно керованого патрона, конструкція, що надає, дозволяє вакуумному всмоктуванню рівномірно віддаватись через стабільну стійку та безконтактну підтримку для типово делікатних вафельних субстратів: кремнію або GAN та інших складових напівпровідників.  Режим всмоктування вакууму уникає як забруднення частинок, так і механічного пошкодження, тим самим зберігаючи цілісність вафельних виробів під час процесу.

Керамічне тіло патрона - це насамперед висока чистота SIC, з іншою керамікою, такою як глинозем (Al2O3), що потенційно використовується для обмеженої кількості функціональних шарів залежно від застосування. Дослідження та розробка матеріалу дозволяють вміти розмір пор та розподілу для розробки повітряного потоку та сили утримання залежно від розмірів вафель та умов процесів. Якщо важливо контролювати вакуум на тонших вафлях, буде включений менший розмір пор. Для швидших витрат, де це доречно, буде використовуватися більший розмір пор.

Пористі SIC -акції демонструють варіацію кольорів внаслідок змінних розмірів пор, керамічних композицій та умов стрільби. SIC-ґрунти, як правило, чорні або темно-сірі, оскільки колір карбіду кремнію є або сірим, або чорним, однак укол із великим вмістом глинозему, як правило, є білим кольором. Варіанти в кольорі не впливають на продуктивність продукту і представляють лише інженерні властивості, створені для конкретних додатків, щоб відповідати конкретним потребам клієнта.

У інструментах з обробки високого класу вафельна стабільність та хімічна інертність-це дві найважливіші особливості. Карбід кремнію забезпечує відмінну стійкість до корозії та теплового циклу. Пористий SIC Chuck успішно працює у вакуумних камерах та інструментах для травлення в плазмі, і він продовжує добре працювати при швидко мінливій температурі. Їх здатність підтримувати димрозмірну стабільність патрона забезпечує, що пластина залишається в одному місці, навіть незважаючи на те, що вимоги до точності можуть бути нижче субмікроном залежно від процесу, що сприяє розміру стабілізованого забезпечення точності.

Пористі SIC SEMICOREX здійснюються за допомогою уповноважених процедур формування та спікання, які забезпечують рівномірну пористість, високу міцність на згинання та низьке теплове розширення. Кожен патрон перевіряється на наявність пор -структури, плоскості та вакууму, щоб забезпечити надійний та повторюваний продукт. Спеціальні конструкції також доступні для розміщення конкретних розмірів вафель та вимог до інтеграції системи, таких як канали потоку газу на бік або функції монтажу.

На закінчення, пористий SIC Chuck - це система підтримки підкладки з високою надійністю, яка була ретельно розроблена для роботи у поєднанні з вимогами до точної обробки вафель. Завдяки високій здатності до вакууму, налаштованою структурою пор та видатною стабільністю матеріалу, це незамінний продукт у сучасних напівпровідникових лініях виготовлення.