Носій Semicorex із покриттям SiC для системи плазмового травлення ICP є надійним і економічно ефективним рішенням для процесів обробки високотемпературних пластин, таких як епітаксія та MOCVD. Наші носії мають тонке кристалічне покриття SiC, яке забезпечує чудову термостійкість, рівномірну термічну однорідність і тривалу хімічну стійкість.
ДетальнішеНадіслати запитТокоприймач із покриттям із карбіду кремнію Semicorex для індуктивно-зв’язаної плазми (ICP) розроблено спеціально для процесів обробки високотемпературних пластин, таких як епітаксія та MOCVD. Завдяки стабільній високотемпературній стійкості до окислення до 1600°C, наші носії забезпечують рівномірні термічні профілі, ламінарні схеми потоку газу та запобігають забрудненню або дифузії домішок.
ДетальнішеНадіслати запитТримач пластин ICP для травлення Semicorex є ідеальним рішенням для високотемпературних процесів обробки пластин, таких як епітаксія та MOCVD. Завдяки стабільній високотемпературній стійкості до окислення до 1600°C, наші носії забезпечують рівномірні термічні профілі, ламінарні схеми потоку газу та запобігають забрудненню або дифузії домішок.
ДетальнішеНадіслати запитНесуча пластина ICP Etching Carrier Plate від Semicorex є ідеальним рішенням для вимогливої обробки пластин і процесів осадження тонкої плівки. Наш продукт забезпечує чудову термостійкість і стійкість до корозії, рівномірну термічну однорідність і ламінарну структуру потоку газу. Завдяки чистій і гладкій поверхні наш носій ідеально підходить для обробки незайманих вафель.
ДетальнішеНадіслати запитТримач пластин Semicorex для процесу ICP Etching є ідеальним вибором для вимогливих процесів обробки пластин і нанесення тонких плівок. Наш продукт може похвалитися чудовою термостійкістю та стійкістю до корозії, рівномірною термічною однорідністю та оптимальними ламінарними структурами потоку газу для стабільних і надійних результатів.
ДетальнішеНадіслати запитICP Silicon Carbon Coated Graphite від Semicorex є ідеальним вибором для складних процесів обробки пластин і нанесення тонких плівок. Наш продукт може похвалитися чудовою термостійкістю та стійкістю до корозії, рівномірною термічною однорідністю та оптимальними ламінарними структурами потоку газу.
ДетальнішеНадіслати запит