Диск із приймачем

Виготовлений із графіту високої чистоти та покритий шаром карбіду кремнію (SiC) за технологією MOCVD, диск Semicorex Susceptor Disc поєднує виняткові термічні властивості з чудовою хімічною стабільністю. Покриття з карбіду кремнію забезпечує чудову стійкість до високих температур і корозійних умов, що має вирішальне значення для збереження цілісності чутливого диска в складних умовах.

Крім того, покриття SiC на диску-суцепторі покращує його теплопровідність, що забезпечує швидкий і рівномірний розподіл тепла, що є критичним для послідовного епітаксійного росту. Він ефективно поглинає та випромінює тепло, забезпечуючи стабільну рівномірну температуру, необхідну для осадження тонких плівок. Ця однорідність життєво важлива для отримання високоякісних епітаксійних шарів, які є фундаментальними для функціональності та продуктивності передових напівпровідникових пристроїв.

Конструкція чутливого диска також вирішує проблему теплового розширення. Його мінімальний коефіцієнт теплового розширення забезпечує міцне зчеплення з епітаксіальними шарами, зменшуючи ризик розтріскування через термічний цикл. Ця особливість у поєднанні з високою температурою плавлення Susceptor Disc і відмінною стійкістю до окислення забезпечує надійну роботу в екстремальних умовах.

Завдяки цим вдосконаленим властивостям Susceptor Disc не тільки відповідає суворим вимогам сучасних MOCVD, але й перевищує їх, забезпечуючи надійне, високоефективне рішення, яке підвищує загальну ефективність і результативність процесу епітаксійного росту.