Робот кінцевий ефектор

Semicorex є провідним незалежним виробником графіту з покриттям з карбіду кремнію, прецизійно обробленого графіту високої чистоти, який зосереджується на графіті з покриттям з карбіду кремнію, кераміці з карбіду кремнію та MOCVP у сферах виробництва напівпровідників. Наш кінцевий ефектор робота має хорошу цінову перевагу та охоплює багато європейських та американських ринків. Ми з нетерпінням чекаємо можливості стати вашим довгостроковим партнером у Китаї.

Надіслати запит

Опис продукту

Кінцевий ефектор — це рука робота, яка переміщує напівпровідникові пластини між позиціями в обладнанні для обробки пластин і носіях. Кінцевий ефектор робота повинен мати точні розміри та термостабільність, а також мати гладку, стійку до стирання поверхню, щоб безпечно працювати з пластинами, не пошкоджуючи пристрої та не забруднюючи частинками. Наш кінцевий ефектор із карбідом кремнію високої чистоти (SiC) забезпечує чудову термостійкість, рівномірну термічну однорідність для сталої товщини та стійкості епі-шару, а також тривалу хімічну стійкість.

Параметри кінцевого ефектора робота

Основні характеристики покриття CVD-SIC
Властивості SiC-CVD
Кристалічна структура	FCC β фаза
Щільність	г/см³	3.21
Твердість	Твердість за Віккерсом	2500
Розмір зерна	мкм	2~10
Хімічна чистота	%	99.99995
Теплоємність	Дж кг-1 К-1	640
Температура сублімації	℃	2700
Згинальна сила	МПа (RT 4 точки)	415
Модуль Юнга	Gpa (вигин 4 точки, 1300 ℃)	430
Теплове розширення (C.T.E)	10-6К-1	4.5
Теплопровідність	(Вт/мК)	300