Носій RTP для епітаксіального росту MOCVD

Semicorex RTP Carrier for MOCVD Epitaxial Growth ідеально підходить для обробки напівпровідникових пластин, включаючи епітаксійне зростання та обробку пластин. Вуглеграфітові токоприймачі та кварцові тиглі обробляються методом MOCVD на поверхні графіту, кераміки тощо. Наша продукція має хорошу цінову перевагу та охоплює багато європейських та американських ринків. Ми з нетерпінням чекаємо можливості стати вашим довгостроковим партнером у Китаї.

Надіслати запит

Опис продукту

Semicorex постачає носій RTP для епітаксіального росту MOCVD, який використовується для підтримки пластин, який справді стабільний для RTA, RTP або агресивного хімічного очищення. В основі процесу, епітаксійні рецептори, спочатку піддаються впливу середовища осадження, тому він має високу термостійкість і стійкість до корозії. Носій з покриттям SiC також має високу теплопровідність і відмінні властивості розподілу тепла.
Наш носій RTP для епітаксіального зростання MOCVD розроблено для досягнення найкращої ламінарної моделі потоку газу, забезпечуючи рівномірність теплового профілю. Це допомагає запобігти будь-якому забрудненню або дифузії домішок, забезпечуючи високоякісне епітаксійне зростання на чіпі пластини.
Зв’яжіться з нами сьогодні, щоб дізнатися більше про наш носій RTP для епітаксіального росту MOCVD.

Параметри носія RTP для епітаксіального росту MOCVD

Основні характеристики покриття CVD-SIC
Властивості SiC-CVD
Кристалічна структура	FCC Î² фаза
Щільність	г/см³	3.21
Твердість	Твердість за Віккерсом	2500
Розмір зерна	Î¼m	2~10
Хімічна чистота	%	99.99995
Теплоємність	Дж·кг-1 ·К-1	640
Температура сублімації	℃	2700
Згинальна сила	МПа (RT 4 точки)	415
Модуль Юнга	Gpa (вигин 4 точки, 1300 °)	430
Теплове розширення (C.T.E)	10-6К-1	4.5
Теплопровідність	(Вт/мК)	300

Особливості носія RTP для епітаксіального росту MOCVD

Високочистий графіт із покриттям SiC
Чудова термостійкість і теплова однорідність
Тонкий кристал SiC з покриттям для гладкої поверхні
Висока стійкість до хімічного очищення
Матеріал розроблений таким чином, щоб не було тріщин і розшарувань.