Власники човнів SIC

Власники човнів Semicorex SIC-це пристрої з точною підтримкою, розроблені для утримання вафельних човнів під час високотемпературних процесів при виготовленні напівпровідників. Ці власники, виготовлені з карбіду кремнію з високою чистотою (SIC), виявляють чудову термічну стійкість, хімічну стійкість та механічну жорсткість, основні особливості при використанні в таких процесах, як дифузія, окислення та епітаксіальний ріст.

У вимогливих напівпровідникових середовищах виготовлення, захист цілісності вафель та мінімізація забруднення має вирішальне значення. Власники човнів SIC пропонують міцну інертну платформу, яка може терпіти екстремальні середовища печі, зберігаючи цілісність без деформації та без звільнення забруднень. Їх хімічна інертність дозволяє використовувати їх з реактивними технологічними газами, в той час як їх тепловий пропуск сприяє навіть нагріву поверхні вафель для послідовної обробки.

Кожен тримач човна SIC виготовляється з високою толерантністю до розмірної точності, що робить їх легкими для розміщення та адаптації до будь -якого типу вафельних човнів та автоматизованих конфігурацій навантаження. Їх жорстка структура не тільки створює сильну, стабільну та адекватну підтримку вафельних човнів, але й зменшує шанс мікро-вібрації або позиційні зрушення на вафлях. Крім того, карбід кремнію має відмінну стійкість до зносу і може обробляти повторне теплове циклічне цикл, щоб забезпечити тривалий термін, що призводить до невеликого простою та заміни частин флакона.

Унікальні атрибути карбіду кремнію можуть надати додаткові переваги щодо чистоти процесу. На відміну від металів або керамічних матеріалів нижчого ступеня, SIC не лущить, виходив, хімічно погіршується при екстремальних температурах або в плазмі. Це робить власників човнів SIC чудовим інструментом для виробників, які намагаються обмежити забруднення чистої кімнати для вдосконалених напівпровідникових вузлів, які потребують високого врожаю та чистоти.

Власники човнів Semicorex SIC виробляються за допомогою унікальних процесів ліплення та спікання, які забезпечують рівномірну мікроструктуру та механічні показники між партіями та на різних тримачах човнів. Наприклад, форма власника або конфігурація слотів може бути налаштована, а також тип монтажу.

Незалежно від того, що використовуються у вертикальних печах чи горизонтальних реакторах, налаштування власників Semicorex SIC буде відповідати допускам для виготовлення напівпровідника наступного покоління. Якщо ви вибрали продукти Semicorex, ви дізнаєтесь, що працювали з постачальником, який знає, присвячений досконалості матеріалу та прагне до постійних інноваційних керамічних компонентів щодо надійності та доставки.