SiC човен

Човни Semicorex SiC ретельно виготовлені з високочистої кераміки SiC, матеріалу, відомого своєю неперевершеною термічною стабільністю, винятковою механічною міцністю та непохитною хімічною інертністю. Ці якості роблять його ідеальним вибором для суворих умов виробництва напівпровідників.

SiC Boats характеризується неперевершеною механічною міцністю та довговічністю завдяки твердості матеріалу та винятковій стійкості до зношування. Це дозволяє їм витримувати вимогливий характер високопродуктивного виробництва напівпровідників, не піддаючись поступовому зношенню. На відміну від інших матеріалів, SiC з часом зберігає свою структурну цілісність, значно зменшуючи потребу в частих замінах і зводячи до мінімуму простої під час виробничих операцій, що в кінцевому підсумку призводить до значної економії коштів для виробників напівпровідників.

Хімічна інертність SiC додатково зміцнює його придатність для напівпровідникових процесів, надаючи йому високу стійкість до хімічного впливу реактивних газів і широко використовуваних матеріалів, таких як хлор і фтор. Цей надійний опір гарантує, що човни SiC не забруднюють пластини під час обробки, таким чином зберігаючи чистоту та якість виготовлених напівпровідникових пристроїв. Для процесів, що вимагають ще більш високого рівня хімічної стійкості, SiC Boats можна покрити додатковим шаром SiC, створюючи додатковий бар’єр проти хімічного впливу та підвищуючи обробку поверхні човна, щоб зменшити ризик забруднення частинками.

Висока чистота кераміки SiC, яка використовується в цих човнах, має вирішальне значення, оскільки для виробництва напівпровідників потрібні матеріали з мінімальною кількістю домішок. Навіть незначна кількість забруднень може погіршити електричні властивості пластин і призвести до дефектів кінцевих пристроїв. SiC Boats виготовлені з кераміки SiC надвисокої чистоти, щоб гарантувати відсутність домішок у технологічному середовищі, навіть за підвищених температур і реактивних умов, типових для виробництва напівпровідників. Ця чистота зміцнює надійність SiC Boats для критичних етапів процесу.

Сумісність SiC Boats з різним напівпровідниковим обладнанням має першочергове значення. Універсальність SiC дозволяє точно обробляти його відповідно до конкретних розмірів і конфігурацій, необхідних для різних типів напівпровідникових печей і реакторів, що робить їх придатними для широкого діапазону застосувань, від невеликих досліджень і розробок до великомасштабних виробничих ліній. Крім того, виняткова теплопровідність і властивості розсіювання тепла матеріалу сприяють більш ефективному контролю температури під час обробки, додатково підвищуючи продуктивність і продуктивність напівпровідникових пристроїв.