Консольне весло SiC

Консольна лопатка Semicorex SiC (карбід кремнію) є ключовим компонентом, який використовується в процесах виробництва напівпровідників, зокрема в дифузійних печах або печах LPCVD (хімічне осадження з парової фази при низькому тиску) під час таких процесів, як дифузія та RTP (швидка термічна обробка). Він служить для підтримки та транспортування пластин у технологічній трубі цих печей.

Консольна лопатка Semicorex SiC в основному складається з карбіду кремнію, міцного та термостійкого матеріалу, відомого своєю стійкістю до високих температур і чудовими механічними властивостями. SiC вибрано через його здатність витримувати суворі умови, які виникають у високотемпературних технологічних середовищах напівпровідникових печей. Конструкція консольної лопаті SiC дозволяє їй простягатися в технологічну трубу печі, міцно закріплюючи один кінець за межами труби. Така конструкція забезпечує стабільність і підтримку пластин, що обробляються, одночасно зводячи до мінімуму вплив теплового середовища всередині печі.

SiC Cantilever Paddle призначений для надійного переміщення напівпровідникових пластин у технологічній трубі під час різних високотемпературних процесів, таких як дифузія та RTP. Його міцна конструкція гарантує, що він може протистояти екстремальним температурам і хімічним середовищам, які виникають під час цих процесів, без деградації чи збою. Консольні пластини SiC розроблені для сумісності з широким діапазоном розмірів і форм напівпровідникових пластин, які зазвичай використовуються в промисловості. Їх часто можна налаштувати відповідно до певних конфігурацій печі та вимог процесу.