SIC консольні весла

Полово-консольні весла Semicorex-це високоефективні компоненти, які розроблені саме для обробки вафель та транспортування вафель у напівпровідникове обладнання для термічної обробки (LPCVD, PECVD, окислення та дифузійні печі). Ці консольні весла забезпечують платформу для вафель та необхідна форма підтримки, яка забезпечує стабільний та надійний транспорт крихких вафель через суворі високотемпературні процеси (часто перевищує 1200 ° C). Консольні весла виготовляються з карбіду з високою чистотою кремнію (SIC), який забезпечує механічну міцність, термічну стійкість та антикорозійні властивості для середовища виготовлення напівпровідників.

Силіконовий карбід-це супер-преміум-керамічний матеріал з відмінною теплопровідністю, низьким тепловим розширенням та здатністю надійно працювати в хімічно ворожих умовах. Карбід кремнію в консольних веслах може допомогти зменшити теплові викривлення

 і рух, який тримає вафлі рівними та в їх номінальній обробці. Теплова стійкість вафель у контексті консольних весла важлива для мінімізації проблем забруднення частинок та механічного руху, особливо при виробництві передових пристроїв вузла. Ці проблеми можуть призвести до втрати врожайності або дорогої переробки та заміни вафель.

Монолітна форма весла консольних консольних SIC покращує механічну стійкість та теплову рівномірність, усуваючи суглоби та слабкі точки, які, як правило, можуть існувати в композитах. Крім того, поверхнева обробка весла спеціально контролюється і, як правило, відшліфована на майже дзеркальну якість, щоб мінімізувати генерацію твердих частинок і дуже сумісна з чистим класом.

У процесах дифузії та окислення, що включають кисень, пару та інші реактивні гази; Звичайні матеріали можуть з часом розкриватися або деформуються. Власність хімічної інертної властивості SIC гарантує, що весла не випереджають, і не вживають і вводять забруднення процесу через використання нестабільних матеріалів, сприяючи більш стабільному процесу та надійним результатам.  Структурна цілісність консольних весла SIC залишається стабільною, незважаючи на швидке цикл нагрівання та охолодження. Тому вони пропонують тривалий термін експлуатаційного обслуговування з значно скороченим обслуговуванням або частковою часткою.

Крім того, зменшена маса та легка вага весла SIC дозволяють отримати більш швидку теплову реакцію; тим самим дозволяючи більш швидку термічну збільшення та часу охолодження, що сприяють підвищенню продуктивності та енергоефективності, всі основні показники конкурентного ландшафту напівпровідникового виробництва.

Консольні весла SIC можуть поставлятися в різних конфігураціях та розмірах, розроблених та виготовлених для розміщення різних конструкцій печі та розмірів вафель від 100 мм до 300 мм і більше. Інтегратори OEM та обладнання цінують узгодженість та надійність весла SIC з часом, для розгортання як у процесах переднього, так і заднього кінця.

Semicorex пропонує преміальні консольні весла з жорстким контролем чистоти матеріалу, мікроструктури та розмірних допусків. Наші вдосконалені можливості процесу в поєднанні з нашими знаннями про напівпровідникову теплову динаміку дозволяють нам виробляти весла з цими атрибутами, які відповідають або перевищують галузеві стандарти стабільності, чистоти та довговічності. Коли це повинно бути правильним і надійним, Semicorex - це місце для якісних компонентів SIC.