SIC керамічні човни

Керамічні човни Semicorex SIC-це найсучасніші носії, спеціально розроблені для безпечного транспортування, зберігання та обробки напівпровідникових вафель у найвибагливіших хімічно та термічно екстремальних середовищах. Напівпровідникова промисловість швидко прийняла нові стандарти ефективності, які вимагали від SIC керамічних катерів для надійного, довірливо та без забруднень, щоб досягти нетерпими та критичних вимог до сучасних процесів виготовлення вафель.

Сильна термічна стійкість і міцність

Визначальним атрибутом керамічних катерів SIC є його дуже висока термічна стабільність. Керамічні човни SIC можуть пережити температуру понад 1600 ° C, не втрачаючи форми або структури під час агресивних процесів термічного циклу. Завдяки ультра-низькому коефіцієнту теплового розширення, керамічні човни SIC менш схильні до спотворення та розтріскування, що забезпечує жорсткі допуски та загальну безпеку пластину під час поводження в жорстких умовах.

Висока чистота та хімічна стійкість

Керамічні човни SIC виготовлені з ультра-високої чистоти кремнію. Керамічні катери SIC також високостійкі до хімічної деградації, корозійної та розмитаючої плазми. Інертна природа керамічних катерів SIC означає процеси корозійних газів, реактивних середовищ, кислих умов не утворюють або забруднення з човна, або нічого розчинного, щоб завдати шкоди робочому процесі. Неконстамінаційна поверхня керамічних катерів SIC не дозволяє генерувати частинки або вилуговування іонів, таким чином, поверхня вафельної пластини не загрожує домішками, які перешкоджають продуктивності пристрою або виходу.

Точна інженерія для безпечної та безпечної обробки вафель

Керамічні катери SIC виготовляються в рамках тісних допусків, що дозволяє їм обробляти пластинки різних діаметрів, включаючи 100 мм, 150 мм, 200 мм, 300 мм та багато іншого. Структурна конструкція човнів SIC забезпечує чудову площину, паралелізм та рівномірний розмір слота для підтримки належної орієнтації на виплату вафель та захисту країв пластини при перенесенні в інший процес чи інструмент. Усі човни SIC можуть бути розроблені за допомогою спеціальних розмірів, щоб відповідати набору інструментів або відповідати будь -яких специфікаціях автоматизації.

Тривалий термін експлуатації та економічніше

SIC замінює традиційні матеріали (кварц, глинозем) значно покращеною механічною міцністю, міцністю на перелом та стійкістю до термічного удару. Цей рівень довговічності означає більш тривалий час перед "невдачею", значно меншою кількістю замінників під час роботи та зниження загальної вартості власності. Послідовність продуктивності від міцності SIC скоротить час вниз та прискорить пропускну здатність на виробничих лініях напівпровідників.

Відкриті програми в напівпровідникових процесах

Керамічні катери SIC широко використовуються в напівпровідникових процесах, таких як:

LPCVD та PECVD осадження

Термічне окислення

Іонна імплантація

Відпал і дифузія

Очищення вафель та хімічна обробка

Керамічні ручки SIC мають сумісні програми для переробки як в атмосфері, так і в вакуумних технологічних камерах, що робить його ідеальним вибором для ливарних та FAB, які прагнуть мінімізувати та зменшити ризик забруднення, підвищуючи продуктивність.