Токоприймач бочки з SiC-покриттям

Завдяки високій температурі плавлення, стійкості до окислення та стійкості до корозії стовбуровий токоприймач Semicorex із SiC-покриттям є ідеальним вибором для використання в програмах для вирощування монокристалів. Його покриття з карбіду кремнію забезпечує виняткову площинність і властивості розподілу тепла, забезпечуючи надійну та постійну роботу навіть у найвимогливіших високотемпературних середовищах.

Надіслати запит

Опис продукту

Semicorex SiC-Coated Barrel Susceptor — це високоякісний графітовий продукт, покритий SiC високої чистоти, розроблений спеціально для процесів LPE та інших застосувань у виробництві напівпровідників. Його виняткова щільність і теплопровідність забезпечують чудовий розподіл тепла і захист у високотемпературних і корозійних середовищах.
У Semicorex ми зосереджуємося на забезпеченні високоякісних, економічно ефективних стволових токоприймачів із SiC-покриттям, ми надаємо пріоритет задоволенню клієнтів і пропонуємо економічно ефективні рішення. Ми з нетерпінням чекаємо можливості стати вашим довгостроковим партнером, пропонуючи високоякісні продукти та виняткове обслуговування клієнтів.

Параметри стовбура із SiC-покриттям

Основні характеристики покриття CVD-SIC
Властивості SiC-CVD
Кристалічна структура	FCC β фаза
Щільність	г/см³	3.21
Твердість	Твердість за Віккерсом	2500
Розмір зерна	мкм	2~10
Хімічна чистота	%	99.99995
Теплоємність	Дж кг-1 К-1	640
Температура сублімації	℃	2700
Згинальна сила	МПа (RT 4 точки)	415
Модуль Юнга	Gpa (вигин 4 точки, 1300 ℃)	430
Теплове розширення (C.T.E)	10-6К-1	4.5
Теплопровідність	(Вт/мК)	300

Особливості стовбура із SiC-покриттям

- Графітова підкладка та шар карбіду кремнію мають хорошу щільність і можуть відігравати хорошу захисну роль у високотемпературних та корозійних робочих середовищах.

- Сусцептор з покриттям з карбіду кремнію, який використовується для вирощування монокристалів, має дуже високу площинність поверхні.

- Зменшити різницю в коефіцієнті теплового розширення між графітовою підкладкою та шаром карбіду кремнію, ефективно підвищити міцність з’єднання, щоб запобігти розтріскуванням і відшаруванням.

- І графітова підкладка, і шар карбіду кремнію мають високу теплопровідність і відмінні властивості розподілу тепла.

- Висока температура плавлення, стійкість до окислення при високій температурі, стійкість до корозії.