Якщо ви шукаєте високоефективний графітовий токоприймач для використання у виробництві напівпровідників, ідеальним вибором стане Graphite Barrel Susceptor із покриттям Semicorex SiC. Його виняткова теплопровідність і властивості розподілу тепла роблять його найкращим вибором для надійної та стабільної роботи у високотемпературних і корозійних середовищах.
Graphite Barrel Susceptor із покриттям Semicorex SiC є ідеальним вибором для застосувань у виробництві напівпровідників, які вимагають виняткового розподілу тепла та теплопровідності. Його високочисте покриття SiC і чудова щільність забезпечують чудові властивості захисту та розподілу тепла, забезпечуючи надійну та стабільну роботу навіть у найскладніших умовах.
Наш графітовий стовбур із SiC-покриттям розроблений для досягнення найкращої ламінарної моделі потоку газу, забезпечуючи рівномірність теплового профілю. Це допомагає запобігти будь-якому забрудненню або дифузії домішок, забезпечуючи високоякісне епітаксійне зростання на чіпі пластини.
Зв’яжіться з нами сьогодні, щоб дізнатися більше про наш графітовий ствол із SiC-покриттям.
Параметри графітового стовбура із покриттям SiC
Основні характеристики покриття CVD-SIC |
||
Властивості SiC-CVD |
||
Кристалічна структура |
FCC β фаза |
|
Щільність |
г/см³ |
3.21 |
Твердість |
Твердість за Віккерсом |
2500 |
Розмір зерна |
мкм |
2~10 |
Хімічна чистота |
% |
99.99995 |
Теплоємність |
Дж кг-1 К-1 |
640 |
Температура сублімації |
℃ |
2700 |
Згинальна сила |
МПа (RT 4 точки) |
415 |
Модуль Юнга |
Gpa (вигин 4 точки, 1300 ℃) |
430 |
Теплове розширення (C.T.E) |
10-6К-1 |
4.5 |
Теплопровідність |
(Вт/мК) |
300 |
Характеристики графітового стовбура з SiC-покриттям
- Графітова підкладка та шар карбіду кремнію мають хорошу щільність і можуть відігравати хорошу захисну роль у високотемпературних та корозійних робочих середовищах.
- Сусцептор з покриттям з карбіду кремнію, який використовується для вирощування монокристалів, має дуже високу площинність поверхні.
- Зменшити різницю в коефіцієнті теплового розширення між графітовою підкладкою та шаром карбіду кремнію, ефективно підвищити міцність з’єднання, щоб запобігти розтріскуванням і відшаруванням.
- І графітова підкладка, і шар карбіду кремнію мають високу теплопровідність і відмінні властивості розподілу тепла.
- Висока температура плавлення, стійкість до окислення при високій температурі, стійкість до корозії.