Semicorex SiC Coated Plate Carriers for MOCVD — це високоякісний носій, призначений для використання в процесі виробництва напівпровідників. Його висока чистота, чудова стійкість до корозії та навіть тепловий профіль роблять його чудовим вибором для тих, хто шукає носій, який може витримати вимоги процесу виробництва напівпровідників.
Наші пластинчасті носії з SiC-покриттям для MOCVD відрізняються високою чистотою, що робить їх чудовим вибором для тих, хто шукає носій з високою однорідністю та незмінними властивостями.
Наші пластинчасті носії з покриттям SiC для MOCVD виготовлені з високочистим покриттям карбіду кремнію на графіті, що робить його високостійким до окислення за високих температур до 1600°C. Процес хімічного осадження з парової фази CVD, який використовується у його виробництві, забезпечує високу чистоту та чудову стійкість до корозії. Він має високу корозійну стійкість, має щільну поверхню та дрібні частинки, що робить його стійким до кислот, лугів, солей та органічних реагентів. Його стійкість до високотемпературного окислення забезпечує стабільність при високих температурах до 1600°C.
Параметри носіїв пластин із покриттям SiC для MOCVD
Основні характеристики покриття CVD-SIC |
||
Властивості SiC-CVD |
||
Кристалічна структура |
FCC β фаза |
|
Щільність |
г/см³ |
3.21 |
Твердість |
Твердість за Віккерсом |
2500 |
Розмір зерна |
μm |
2~10 |
Хімічна чистота |
% |
99.99995 |
Теплоємність |
Дж·кг-1 ·К-1 |
640 |
Температура сублімації |
℃ |
2700 |
Згинальна сила |
МПа (RT 4 точки) |
415 |
Модуль Юнга |
Gpa (вигин 4 точки, 1300 °) |
430 |
Теплове розширення (C.T.E) |
10-6К-1 |
4.5 |
Теплопровідність |
(Вт/мК) |
300 |
Характеристики графітового чутливого елемента з покриттям SiC для MOCVD
- Уникайте відшаровування та забезпечте покриття на всій поверхні
Стійкість до високотемпературного окислення: стабільна при високих температурах до 1600°C
Висока чистота: виготовлено методом CVD хімічного осадження з парової фази в умовах високотемпературного хлорування.
Стійкість до корозії: висока твердість, щільна поверхня та дрібні частинки.
Стійкість до корозії: кислоти, луги, солі та органічні реагенти.
- Досягнення найкращої ламінарної моделі потоку газу
- Гарантія рівності теплового профілю
- Запобігайте будь-якому забрудненню або дифузії домішок