Пластина з покриттям SIC

Пластина Semicorex SIC-це інженерний високоефективний компонент, спеціально розроблений для епітаксіального (EPI) обладнання для зростання, що вимагає стабільних субстратів високої чистоти для створення високоякісних плівок. Це високоміцне графітове ядро, рівномірно і щільно покрите карбідом кремнію (SIC), що досягає неперевершеного теплового та механічного опору високоміцного графіту в поєднанні з хімічною стійкістю та міцністю поверхні SIC. Пластина Semicorex SIC побудована для підтримки надзвичайних суворостей епітаксіальних процесів для складних напівпровідників, включаючи SIC та GAN.

Графітове ядро пластини з покриттям SIC має видатну теплопровідність, низьку щільність та верхню стійкість до теплового удару. Помірно низька теплова маса сердечника графіту, збалансована з відмінною теплопровідністю, дозволяє швидко розподіляти тепло в процесі, коли температури цикли проходять на великих швидкостях. Зовнішній шар SIC, осаджений хімічним осадженням пари (ССЗ), пропонує захисний бар'єр, який збільшує твердість, корозійну стійкість та хімічну інертність, пропонуючи негайне значення при обмеженні або запобіганні генерації частинок. Ця суцільна елементарна поверхня в поєднанні з фізичними характеристиками графітової основи забезпечують дуже високе середовище процесу чистоти з дуже невеликим або без ризику генерації дефектів на епітаксіальних шарах.

Розмірна точність та площина поверхні також є важливими ознаками пластини з покриттям SIC. Кожна пластина обробляється та покрита щільними допусками, щоб забезпечити рівномірність та повторюваність у продуктивності процесу. Гладка і інертна поверхня зменшує місця зародження для небажаного осадження плівки та покращує рівномірність вафельної пластини.

В епітаксіальних реакторах пластина з покриттям SIC, як правило, реалізується як чутливий, вкладиш або тепловий щит, щоб дати структуру та виконувати як середовище передачі тепла до вафлі, що обробляється. Стабільні показники безпосередньо впливатимуть на якість кристалів, врожайність та продуктивність.