Вафельний диск із покриттям SiC

Вафельний диск Semicorex із SiC-покриттям є передовим прогресом у технології виробництва напівпровідників, відіграючи важливу роль у складному процесі виготовлення напівпровідників. Розроблений з особливою точністю, цей диск виготовлено з високоякісного графіту з кремнієвим карбідом, що забезпечує надзвичайну продуктивність і довговічність для кремнієвої епітаксії. Ми в Semicorex націлені на виробництво та постачання високопродуктивних вафельних дисків із SiC-покриттям, які поєднують якість із економічною ефективністю.

Надіслати запит

Опис продукту

Основа вафельного диска Semicorex із SiC-покриттям складається з високоякісного графіту, на якого нанесено хімічне осадження з парової фази (CVD) SiC. Ця передова конструкція забезпечує виняткову стійкість до термічних ударів і хімічної деградації, значно подовжуючи термін служби пластинчастого диска з SiC-покриттям і забезпечуючи надійну роботу протягом усього процесу виготовлення напівпровідників.

Примітно, що вафельний диск із SiC-покриттям відрізняється теплопровідністю, яка є критичною для ефективного розсіювання тепла під час виробництва напівпровідників. Ця функція мінімізує температурні градієнти по поверхні пластини, сприяючи рівномірному розподілу температури, необхідному для досягнення бажаних характеристик напівпровідника.

Покриття SiC забезпечує надійний захист від хімічної корозії та термічного удару, зберігаючи цілісність вафельного диска з покриттям SiC навіть у суворих технологічних середовищах. Ця підвищена довговічність призводить до більш тривалого терміну експлуатації та скорочення часу простою, сприяючи підвищенню продуктивності та економічній ефективності на заводах з виробництва напівпровідників.

Крім того, вафельний диск із SiC-покриттям можна налаштувати відповідно до конкретних вимог і переваг. Ми надаємо варіанти налаштування, починаючи від коригування розміру до варіацій товщини покриття, що забезпечує гнучкість конструкції, яка оптимізує продуктивність для різних застосувань і параметрів процесу.