SIC епітаксіальний модуль

Епітаксіальний модуль Semicorex SIC, створений з преміум -класу, Graphite, покритого SIC, є частиною епітаксіального обладнання, яке розробляється для витримки найскладніших елементів епітакси -процесів кремнієвого карбіду (SIC). Цей модуль, призначений для високої температури в застосуванні хімічного осадження пари (ССЗ), є важливим компонентом у демонстрації стабільності та підтримки вафель під час епітаксіального зростання високоякісної SIC. Модуль Semicorex SIC є ефективним базовим матеріалом для надійного та повторюваного виробництва епітаксіального матеріалу, що відповідає якісним специфікаціям SIC.

Модуль Semicorex SIC - це графітова підкладка, покрита щільним і рівномірним шаром кремнієвого карбідного покриття і стійкий до забруднення частинок та корозії навіть у найважчих хімічних хімічних засобах. Покриття SIC забороняє забруднення та ерозію основного графіту та забезпечує значну механічну підтримку та захист до 1600 ° C. Модуль SIC поєднує в собі міцність та обробку графіту із загальним зносом, корозією та хімічними стійкими властивостями карбіду кремнію, що робить його найкращим модулем з точки зору довговічності в суворої епітаксіальної атмосфери.

Модуль призначений для забезпечення рівномірного теплового профілю, мінімізуючи розмірні зміни протягом усього процесу термічного циклу. Ця термічна рівномірність та стабільність є важливими для підтримки плоскості вафель та рівномірності епітакси. Якщо пластина підтримує стабільне положення з високою теплопровідністю, то теплові умови через пластину під час обробки будуть рівномірними, що позитивно впливає на вихід, якість кристалів та простої, пов'язані з несправністю частини або забрудненням.

Епітаксіальний модуль SIC сумісний з кількома епітаксіальними реакторами, включаючи гарячу стіну та холодну стіну, і має можливість налаштувати на форму та розміри для розміщення конкретних макетів реактора та потреб клієнтів. Епітаксіальний модуль SIC добре підходить, але не обмежуючись ними, 4-дюймові, 6-дюймові та виникаючі 8-дюймові програми Epitaxy SIC. Через високу чистоту та оптимізовану геометрію епітаксіального модуля SIC, фізичні перешкоди мінімізуються за його впливом на динаміку потоку газу та теплові градієнти, які підтримують більш контрольоване зростання епітаксіального шару.

Епітаксіальні модулі SIC SIC SEMICOREX представляють найвищу якість, керовану якістю, в ексцентричному складі. На додаток до протоколів високої якості контролю, Semicorex використовує останні методи покриття для застосування рівномірних, щільних та низькогасивних плівок SIC. Semicorex має довгу історію високоефективних керамічних покриттів та графітової обробки, що визначають переваги процесів, що забезпечують найкращий можливий термін експлуатації продукту, послідовність та стабільність процесів від партії до партії.

У полях, що швидко розвивається, пристрої SIC Power, де якість матеріалу безпосередньо впливає на продуктивність пристрою, епітаксіальний модуль не є лише споживачами-це важливий фактор. Графітовий епітаксіальний модуль з покриттям SIC від Semicorex пропонує надійне, надійне рішення для клієнтів, які прагнуть просунути межі ефективності, врожайності та економічної ефективності в епітаксі SIC.