Кільця фокусування SiC

Удосконалені високочисті фокусувальні кільця SiC від Semicorex створені для роботи в екстремальних умовах у камерах плазмового травлення (або сухого травлення). Ми зосереджені на напівпровідникових галузях, таких як шари карбіду кремнію та епітаксійні напівпровідники. Наші продукти мають гарну цінову перевагу та охоплюють багато європейських та американських ринків. Ми з нетерпінням чекаємо можливості стати вашим довгостроковим партнером у Китаї.

Надіслати запит

Опис продукту

Semicorex постачає кільця фокусування SiC дійсно стійкі до RTA, RTP або жорсткого хімічного очищення. Фокусні кільця SiC або краєві кільця призначені для покращення рівномірності травлення по краю або периметру пластини. Зведіть до мінімуму забруднення та позапланове обслуговування за допомогою компонентів високої чистоти, розроблених для суворої обробки плазмовим травленням. Наші фокусні кільця SiC із покриттям SiC — це щільне, зносостійке покриття з карбіду кремнію (SiC). Має високі корозійні та термостійкі властивості, а також чудову теплопровідність. Ми наносимо SiC тонкими шарами на графіт за допомогою процесу хімічного осадження з газової фази (CVD).

Параметри фокусних кілець SiC

Основні характеристики покриття CVD-SIC
Властивості SiC-CVD
Кристалічна структура	FCC β фаза
Щільність	г/см³	3.21
Твердість	Твердість за Віккерсом	2500
Розмір зерна	мкм	2~10
Хімічна чистота	%	99.99995
Теплоємність	Дж кг-1 К-1	640
Температура сублімації	℃	2700
Згинальна сила	МПа (RT 4 точки)	415
Модуль Юнга	Gpa (вигин 4 точки, 1300 ℃)	430
Теплове розширення (C.T.E)	10-6К-1	4.5
Теплопровідність	(Вт/мК)	300

Особливості фокусних кілець SiC

- CVD покриття з карбіду кремнію для збільшення терміну служби.

- Теплоізоляція з високоефективного очищеного твердого вуглецю.

- Нагрівач і пластина з карбонового/вуглецевого композиту. - І графітова підкладка, і шар карбіду кремнію мають високу теплопровідність і відмінні властивості розподілу тепла.

- Графіт високої чистоти та покриття SiC для стійкості до точкових отворів та довшого терміну служби