SiC Нагрівальний елемент Нагрівальний елемент SiC Стрижні

SiC Heating Element Heater Filament SiC Rods представляє собою вершину технології нагріву, ретельно розроблену для задоволення строгих вимог процесу виготовлення напівпровідників. Цей інноваційний нагрівальний елемент поєднує виняткові теплові властивості графіту з високоефективними властивостями покриття з карбіду кремнію (SiC), що робить його незамінним інструментом для точного та ефективного виробництва напівпровідників.

Застосування:

Semicorex SiC Heating Element Heater Filament SiC Rods знаходить незамінне застосування в різних критичних процесах виробництва напівпровідників:

Хімічне осадження з парової фази (CVD): можливість контрольованого осадження тонких плівок на підкладки, життєво важливого для створення складних схем і структур пристроїв.

Відпал і дифузія: полегшення контрольованої термічної обробки для покращення властивостей матеріалу та створення точних профілів легування всередині напівпровідникових підкладок.

Окислення та травлення: підтримка процесів контрольованого окислення та травлення, необхідних для ізоляції пристрою, формування з’єднань і модифікації поверхні.

Зростання кристалів: створення ідеального теплового середовища для епітаксійного росту, що призводить до утворення високоякісних кристалічних шарів із визначеною орієнтацією кристалів.