SIC труби

Труби Semicorex SIC - це керамічні деталі для напівпровідникових печей.  Вони мають унікальні властивості, які включають високу термічну передачу та високотемпературну та хімічну стійкість, яка необхідна в напівпровідних додатках, де є надзвичайні високотемпературні та хімічні умови навколишнього середовища, які очікуються та де властивості бажані - довговічність, енергоефективність та унікальні стабільні умови процесів - які дозволяють бути економічними в передових напівпровідних виробничих середовищах.

SEMICOREX SIC Труби використовують тонко-зерна з високою чистотоюкарбід кремніюЦе виготовляється з винятковою високотемпературною механічною стабільністю внаслідок вдосконалених методів та методик та методів перекристалізації. Удосконалення високоефективної SIC призводить до виняткової механічної міцності та утримання теплової стабільності при високих робочих температурах. SIC має виняткову твердість, яку пом'якшується, або потенційна деформація.  Крім того, атрибути, пов’язані з властивостями SIC, є низькопрофільним коефіцієнтом термічного розширення, є корисними, оскільки вони обмежують тепловий напруження, оскільки існуватимуть вимоги до циклу цього матеріалу між екстремальною та низькою експлуатаційною теплом. З усіх цих міркувань вони мають спеціальну корисність для ідеальних застосувань у дифузійних печах, окислювальних печах та системах LPCVD/PECVD для підтримки максимальних стабільних умов процесів, які приносять користь для усунення або обмеження дефектів, які також є метриками, пов'язаними з вафелями або матеріалом з високо стабільними, навіть процесами процесу.

Ще однією важливою корисністю труб SIC є високі профілі теплової провідності в конкретних умовах та застосовні конструкції печі для отримання високих темпів провідних і, що важливо, рівномірний і постійний розподіл температури в процесі.  Ця надійна поведінка дозволяє вафлям піддаватися напівекологічному розподілу температури в розумних часових інтервалах та додатково для обмеження теплових градієнтів для пом'якшення спотворених та/або дефектованих вафель, одночасно покращуючи більше умов осадження плівки.

Хімічна стабільність та резистентність - ще один важливий фактор продуктивності.  У напівпровідникових процесах трубка печі піддається впливу сильно реактивних газів, включаючи кисень, водень, аміак та всі галогени, які можуть швидко деградувати звичайні матеріали. Щільна та непориста мікроструктура, поряд із хімічно інертною природою SIC, захищає її від окислення та корозії, забезпечуючи експлуатаційні та механічні показники в екстремальному процесі.  Довговічність печей SIC допомагає їм підтримувати цілісність форми та розмірної точності протягом тривалих періодів часу, що важливо для контролю процесу та стабільності.

Труби SIC можуть бути виготовлені в широкому діапазоні розмірів та товщини стін, геометрично формованою для відповідності конструкцій печі та потреб у процесі.  Точні точні характеристики обробки також підтримуються під час проектування та виробництва труб SIC, щоб операційні допуски могли бути щільними, з гладкими внутрішніми поверхнями та відмінною концентрацією для підтримки балансу ламінарного потоку газу та рівномірних теплових профілів. Поверхневе полірування та покриття можуть бути надані як варіанти лікування, що підвищуватимуть продуктивність за рахунок зменшення генерації частинок та покращення резистентності до корозії.

Труби SIC мають чіткі переваги експлуатації та витрат порівняно з альтернативними матеріалами, такими як кварцові або глиноземні труби.  Початкова вартість компонентів SIC може бути дещо вищою, але термін експлуатації продукту, зменшення поломки та зниження вимог до обслуговування призводять до загальної вартості власності, що є нижчими витратами, ніж альтернативні матеріали та труби.

На закінчення, SemicorexSICТруби - найкращий варіант для застосувань напівпровідникової печі, оскільки вони забезпечують найкращі теплові показники, механічну міцність, хімічну стійкість та надійність для вимогливих виробничих умов. Цей матеріал покращує стабільність процесу та допомагає в економії та ефективності витрат на дорогу (тобто меншим споживанням енергії). Труби SIC - це фундаментальний матеріал для сучасного напівпровідникового виготовлення.