SiC рефлектор

Рефлектор Semicorex SiC відомий своєю винятковою теплопровідністю, високою відбивною здатністю та неперевершеною довговічністю, що робить його незамінним у напівпровідниковій промисловості.

SiC-відбивач — це спеціалізований оптичний компонент, призначений для відбиття світла та теплової енергії в процесах виробництва напівпровідників. Карбід кремнію (SiC) — це сполука кремнію та вуглецю, відома своїми видатними фізичними та хімічними властивостями. Рефлектори, виготовлені з SiC, розроблені таким чином, щоб витримувати екстремальні умови, що робить їх ідеальними для застосувань, де присутні високі температури, корозійне середовище та фотони високої енергії.

Однією з найбільш значущих переваг рефлекторів SiC є їх чудова теплопровідність. Матеріал SiC має коефіцієнт теплопровідності, який у кілька разів перевищує коефіцієнт теплопровідності традиційних матеріалів, таких як оксид алюмінію (Al2O3) або кварц. Ця властивість дозволяє ефективно розсіювати тепло, запобігаючи перегріву та забезпечуючи стабільну роботу навіть за умов високих температур.

Рефлектор із SiC демонструє чудову відбивну здатність, особливо в ультрафіолетовому (УФ) та інфрачервоному (ІЧ) спектрах. Цей високий коефіцієнт відбиття забезпечує перенаправлення максимальної кількості світла на цільову область, підвищуючи ефективність напівпровідникових процесів, таких як фотолітографія, швидка термічна обробка (RTP) і хімічне осадження з парової фази (CVD).

Карбід кремнію відомий своєю твердістю та стійкістю до зношування. SiC рефлектор має високу міцність, здатність протистояти механічним навантаженням і стійкий до хімічної корозії. Така довговічність означає подовження терміну служби, зменшення частоти заміни та технічного обслуговування та, зрештою, зниження загальної вартості володіння.