Рука робота SiC

Semicorex SiC Robot Arm є передовимкераміка з карбіду кремніюроботизована рука, розроблена для задоволення суворих вимог виробництва напівпровідників. Використовуючи виняткові властивості карбіду кремнію, ця роботизована рука пропонує неперевершену продуктивність у точному керуванні, високотемпературній стабільності та хімічній стійкості, що робить її незамінним активом для передових напівпровідникових процесів.

Виготовляється з високочистогокераміка з карбіду кремнію, SiC Robot Arm має чудову механічну міцність і чудову теплопровідність. Його унікальний склад матеріалів забезпечує виняткову продуктивність у суворих умовах, таких як екстремальні температури та вплив корозійних хімікатів, зберігаючи при цьому ультрачисті робочі стандарти. На відміну від звичайних матеріалів, таких як нержавіюча сталь або алюміній, карбід кремнію забезпечує чудову жорсткість, забезпечуючи мінімальну деформацію навіть при механічних навантаженнях. Ця характеристика має вирішальне значення для підтримки точності та стабільності, необхідних у виробництві напівпровідників.

Вдосконалена термічна стабільність SiC Robot Arm дозволяє йому надійно працювати в умовах високої температури. Він протистоїть термічному розширенню та зберігає цілісність розмірів, що робить його ідеальним для термічних процесів, таких як відпал, окислення та дифузія. Крім того, хімічна інертність плеча гарантує його роботу в середовищах плазмового травлення та хімічного осадження з парової фази (CVD), де вплив агресивних газів і рідин є звичайною справою. Ці властивості сприяють подовженню терміну служби та зниженню витрат на технічне обслуговування, що призводить до підвищення ефективності роботи.

У середовищі чистих приміщень важливо підтримувати низьке утворення твердих частинок. SiC Robot Arm відповідає цій вимозі завдяки своїй щільній нереактивній поверхні, яка мінімізує випадання частинок. Ця властивість забезпечує чистоту напівпровідникового процесу та знижує ризик забруднення, що є критично важливим для досягнення високої продуктивності та мінімізації дефектів. Крім того, легка природа карбіду кремнію зменшує навантаження на роботизовані системи, підвищуючи енергоефективність і загальну довговічність системи.

Застосування в напівпровідникових процесах

Робот-рука SiC є важливим інструментом на різних етапах виробництва напівпровідників. Під час роботи з пластинами він забезпечує безпечну та точну передачу кремнієвих пластин між станціями обробки, зменшуючи ризик механічних пошкоджень і забруднень. Його хімічна стійкість і термічна стабільність роблять його незамінним для процесів плазмового травлення та хімічного осадження з парової фази, де він зберігає ефективність, незважаючи на вплив суворих умов. Під час термічних процесів, таких як відпал або окислення, рукоятка зберігає свою структурну цілісність і точну роботу, забезпечуючи стабільні та надійні результати. Крім того, його висока точність і стабільність ідеально підходять для інспекційних і метрологічних застосувань, де точне розташування є вирішальним.

Semicorex гарантує, що кожен SiC Robot Arm ретельно розроблений відповідно до суворих вимог напівпровідникової промисловості. Продукт доступний у настроюваних конфігураціях відповідно до конкретних вимог процесу. Індивідуальні розміри, покращена обробка поверхні та варіанти інтеграції з існуючими роботизованими системами – це лише деякі з пропонованих функцій налаштування, які забезпечують плавне впровадження на різних лініях виробництва напівпровідників.

Вибір SiC Robot Arm означає інвестування в продукт, який втілює якість, довговічність і точність. У Semicorex ми пишаємося тим, що пропонуємо інноваційні рішення, підкріплені багаторічним досвідом у виробництві напівпровідникових матеріалів. Наше прагнення до досконалості гарантує, що наші продукти підвищують ефективність процесу, надійність і продуктивність у напівпровідниковій промисловості, що постійно розвивається.

Підсумовуючи, SiC Robot Arm — це більше, ніж компонент; це наріжний камінь передового виробництва напівпровідників. Його міцна конструкція, чудові властивості матеріалу та точні характеристики роблять його життєво важливим доповненням до будь-якої виробничої лінії, яка прагне досягти досконалості в ефективності та якості.