SEMICOREX SIC трубки-це трубки для карбідної печі кремнію, призначені для напівпровідникових високотемпературних процесів, з відмінною термічною стійкістю та хімічною корозійною стійкістю. Вибір сировини Semicorex з високою чистотою, точні виробничі процеси та довгострокові гарантії надійності, щоб забезпечити міцну підтримку для вашого процесу виготовлення напівпровідників.*
Semicorex SIC трубки (трубки SIC печі) - це преміальні компоненти, які сильно використовуються в напівпровідниковій промисловості через їх ідеальну термічну стійкість, механічну міцність та надзвичайну стійкість до агресивних хімічних речовин у ряді застосувань. SEMICOREX SIC трубки були розроблені для переживання найбільш суворих умов, пов'язаних з високою температурою. SIC -трубки, очевидно, є кращим та чудовим матеріалом для дифузійних печей, систем LPCVD/PECVD та в середовищах, що використовуються для епітаксіального росту, в якому забруднення матеріалу та термічна диференціал є ключовими міркуваннями.
SEMICOREX SIC Трубки виготовляються з ультра-високої чистоти SIC порошків, що використовують вдосконалені методології спікання та методи управління процесами, що зберігають чистоту СІК. Результатом є те, що SIC -труби мають оптимальну теплопровідність, низькі характеристики теплового розширення та мають вагу, розподілену по довжині трубки, ефективно мінімізуючи тепловий напруження, навіть якщо вони піддаються швидкому термічному цикліку. Таким чином, використання труб SIC забезпечує задоволеність під час безперервних високотемпературних процесів (до 1600 ° C)-таким чином забезпечуючи рівномірність у процесах виготовлення напівпровідників, підвищення загальної ефективності на послідовних масштабах.
Основна перевага SIC полягає в тому, що він хімічно інертний. SIC практично не впродовж (дотримується ASTM-G654 GP-4 класифікації) та неперевершеними, коли мова йде про резистентні корозійні гази та реактивні хімічні речовини, що використовуються в розробці напівпровідників, включаючи HCL, NH₃, SIH₄. Розмірна стабільність та збільшення часу обслуговування, мінімізуючи уповільнення пропускної здатності, пов'язані зі змінами та замінами трубки. Ключові переваги для виробництва напівпровідників зрозумілі; Використання труб SIC може знизити загальну вартість власності вниз за тиждень або навіть місяці, зберігаючи надійність, оскільки вона стосується промислових процесів.
SEMICOREX SIC Трубки бувають у багатьох діаметрах, довжинах та спеціальних характеристиках для розміщення різних конструкцій печі та вимог до обробки. Внутрішні поверхні можуть бути відшліфовані, що покращує чистоту, зменшує генерацію частинок і є важливою деталізацією в надклічених напівпровідникових просторах. Використання труб Semicorex SIC може допомогти зменшити ризик забруднення та сприяти збільшенню врожаю вафельних виробів з щільними допусками та покращеною якістю поверхні.
Експертиза Semicorex SIC включає роки обробки карбіду кремнію з акцентом на точне інженерію та контроль якості, щоб відповідати суворим та вимогливим стандартам якості напівпровідникової галузі. Наші трубки випробовуються та затверджуються інспекціями, які є критичними для забезпечення чистоти, щільності та виконання в найбільш екстремальних термічних середовищах. Semicorex також надає технічну підтримку та спеціальні варіанти дизайну, щоб допомогти оптимізувати систему печі для конкретних додатків.
Незалежно від того, чи виготовляються логічні мікросхеми, пристрої живлення чи оптоелектроніка, Semicorex SIC -трубки представляють надійний, довговічний варіант для високої температури. Вибираючи Semicorex, ви не лише забезпечуєте ефективність, але й довгостроковий стабільний, ефективний процес виготовлення напівпровідників.