SiC вертикальні човни

Вертикальні човни Semicorex SiC — це розроблені носії для пластин, розроблені та виготовлені для забезпечення найвищої термічної, механічної та хімічної стабільності для обробки напівпровідників у вертикальній печі. Виготовлений з високої чистотикарбід кремнію, ми вважаємо, що вони є найкращим балансом міцності, довговічності та чистоти для дуже просунутої термічної обробки пластин, зокрема окислення, дифузії, LPCVD та відпалу у вертикальних системах печей.

Середовища обробки у вертикальній печі вимагають опорної системи для пластин, яка може витримувати багаторазовий вплив високої температури, часто понад 1200°C, і залишатися стабільною за розмірами без проблем із забрудненням. Вертикальні човни SiC вирізняються своєю міцністю в таких ситуаціях завдяки внутрішнім механічним і термічним властивостям рекристалізованого або CVD карбіду кремнію. Їх надзвичайно низький коефіцієнт теплового розширення забезпечує мінімальне викривлення або деформацію внаслідок швидкого теплового циклу. Крім того, висока теплопровідність забезпечує найбільшу місцеву температурну однорідність для всіх пластин, що є критичним для узгодженості між пластинами щодо товщини шару, профілів легування та електричних характеристик; важливі аспекти масового виробництва в напівпровідниковій промисловості.

У порівнянні з традиційними кварцовими човнами вертикальні човни з SiC забезпечують чудову механічну міцність і продовжений термін служби. Кварц, як правило, стає крихким і розскловується з часом, особливо в агресивних хімічних печах, що призводить до вищих витрат на заміну та потенційних перерв у виробництві. Навпаки, карбід кремнію зберігає свою цілісність навіть після тривалого впливу корозійних газів, таких як хлор, HCl або аміак, які часто зустрічаються в різних процесах дифузії та LPCVD. Його виняткова стійкість до зношування та окислення значно зменшує утворення частинок, допомагаючи захистити поверхні пластин від забруднення та утворення дефектів.

Вертикальні човни SiC також пропонують значні переваги з точки зору ультрачистої обробки. Високочистий матеріал SiC обробляється з суворою ретельністю, щоб зменшити кількість помітних слідів забруднюючих металів, які можуть впливати на робочі характеристики напівпровідникових пристроїв. Поверхні SiC Vertical Boat добре оброблені з прямокутними елементами, які мінімізують ймовірність осипання мікрочастинок. Поверхні SiC є хімічно інертними і не реагують з технологічними газами, тому менш схильні до забруднення. У цьому відношенні вертикальні човни SiC добре підходять для операцій обробки пластин на передньому кінці лінії (FEOL) і на задньому кінці лінії (BEOL).

Вертикальні човни SiC також пропонують гнучкість конструкції. Кожен вертикальний човен може мати спеціальну конструкцію для розміщення пластин різного діаметру (пластини 150 мм, 200 мм або 300 мм), а кількість слотів і відстань можуть бути використані відповідно до вимог процесу. Точна обробка та контроль розмірів забезпечують належне вирівнювання та підтримку пластин, мінімізуючи ймовірність будь-яких мікроподряпин або тріщин під час завантаження, обробки та вивантаження. Крім того, якщо для певного процесу потрібна чудова однорідність температури та/або менша термічна маса, оптимізовані геометрії та конструкції щілин можуть бути включені в конфігурації вертикального човна SiC без шкоди для будь-яких механічних властивостей.

Ще однією перевагою є ефективність обслуговування та експлуатації. Жорстка конструкціяSiCVertical Boats скорочує час і частоту заміни, таким чином мінімізуючи час простою або вартість володіння. Стійкість SiC до термічного удару дозволяє скорочувати цикли нагрівання та охолодження для забезпечення більшої продуктивності на виробничих лініях. Обслуговування та чищення SiC Vertical Boats також дуже просте; матеріал може витримувати більшість звичайних процесів вологого чи сухого очищення, поширених у напівпровідникових фабриках, таких як хімічне очищення кислотами та високотемпературне випалювання.

У цю сучасну епоху складного виробництва напівпровідників, де підвищення продуктивності, контроль забруднення та стабільність процесу мають величезне значення, SiC Vertical Boats пропонують справжню технологічну перевагу. Вони добре справляються з фізичними та хімічними проблемами застосування вертикальних печей і сприяють загальній оптимізації процесу, забезпечуючи цілісність пластин, стабільні результати та довший термін служби обладнання.