SIC вертикальні човни

Вертикальні човни Semicorex SIC - це інженерні вафлі, розроблені та виготовлені для забезпечення найвищої термічної, механічної та хімічної стабільності для переробки напівпровідників вертикальної печі. Побудований з високої чистотикарбід кремнію, ми вважаємо, що вони є найкращим балансом сили, довговічності та чистоти для дуже розвиненої термічної обробки вафельної термічної обробки, відзначені як окислення, дифузія, LPCVD та відпал у системах вертикальної печі.

У середовищах обробки вертикальної печі потрібна система підтримки вафельних виробів, яка може протистояти повторному опроміненню при високій температурі, часто перевищуючи 1200 ° C і залишатися однорідно стабільними без проблем забруднення. Вертикальні човни SIC переважають у своїй стійкості в цих ситуаціях через внутрішні механічні та теплові властивості перекристалізованого або карбіду кремнію. Їх надзвичайно низький коефіцієнт термічного розширення забезпечує мінімальну передачу або спотворення через швидке термічне циклічне цикло. Крім того, висока теплопровідність, пропонує найбільшу локальну однорідність температури для всіх вафель, що є критично важливим для консистенції вафельної плачу в товщині шару, допінгу профілів та електричних показників; Важливі аспекти високого обсягу виробництва в напівпровідниковій галузі.

Порівняно з традиційними кварцовими човнами, вертикальні човни SIC забезпечують чудову механічну силу та тривалий термін служби. Кварц, як правило, стає крихким і девітрифікується з часом, особливо в агресивних хімічних хімікатах печі, що призводить до більш високих витрат на заміну та потенційних перебоїв у виробництві. На відміну від цього, карбід кремнію підтримує свою цілісність навіть після тривалого впливу корозійних газів, таких як хлор, HCL або аміак, які поширені в різних процесах дифузії та LPCVD. Його виняткова стійкість до зносу та окислення значно знижує генерацію частинок, допомагаючи захистити вафлі вафель від забруднення та формування дефектів.

Вертикальні човни SIC також пропонують значну користь з точки зору надолійної обробки. SIC-матеріал з високою чистотою обробляється під суворою ретельністю для зменшення ідентифікованих слідів, що забруднюють метали, які можуть заважати операційним характеристикам напівпровідникових пристроїв. Поверхні вертикальних човнів SIC добре завершені з правими кутовими функціями, які мінімізують шанс про скидання мікрочастинків. Поверхні SIC хімічно інертні і не реагують на технологічні гази і тому менш схильні до забруднення. У цьому відношенні вертикальні човни SIC добре підходять для переднього кінця лінії (FEOL) та заднього кінця лінії (BEOL) операцій з обробки вафель.

Вертикальні човни SIC також пропонують гнучкість дизайну. Кожен вертикальний човен може бути специфічним для дизайну для розміщення декількох діаметрів вафель (150 мм, 200 мм або 300 мм вафель), а номер слота та відстань можна використовувати для задоволення потреб у процесі. Точна обробка та розмірний контроль дозволяє належне вирівнювання вафель та підтримка вафель, мінімізуючи ймовірність будь-яких мікросботів або тріщин напруги під час завантаження, обробки та вивантаження. Крім того, якщо для певного процесу необхідна чудова рівномірність температури та / або менше теплової маси, оптимізовані геометрії та конструкції слотів можуть бути включені в конфігурації вертикальних човнів SIC, не жертвуючи жодними механічними властивостями.

Ще одна перевага - технічне обслуговування та ефективність роботи. Жорстка конструкціяSICВертикальні човни скорочують час та частоту заміни, тим самим мінімізуючи час простою або вартість власності. Термічний ударний стійкість SIC дозволяє коротше цикли нагрівання та охолодження, щоб забезпечити більшу пропускну здатність на виробничих лініях. Технічне обслуговування або очищення вертикальних човнів SIC також дуже просте; Матеріал може терпіти більшість звичайних процесів мокрого або сухого очищення, поширених у напівпровідникових FAB, таких як хімічне очищення з кислотами та високотемпературною витеренням.

У цю сучасну епоху складного виготовлення напівпровідників, де поліпшення врожаю, контроль забруднення та стабільність у цьому процесі мають все важливе значення, вертикальні човни SIC пропонують справжню технологічну перевагу. Вони добре справляються з фізичними та хімічними проблемами вертикальних застосувань печі та сприяють загальній оптимізації процесів, забезпечуючи цілісність вафель, послідовні результати та довший термін експлуатації обладнання.