Вафельний човен SiC

Semicorex пропонує вафельні човники, п’єдестали та спеціалізовані підставки для пластин як для вертикальної/колонної, так і для горизонтальної конфігурації. Протягом багатьох років ми є виробником і постачальником плівки для покриття з карбіду кремнію. Наш SiC Wafer Boat має гарну цінову перевагу та охоплює більшість європейських та американських ринків. Ми з нетерпінням чекаємо можливості стати вашим довгостроковим партнером у Китаї.

Надіслати запит

Опис продукту

Представляємо наш високоякісний SiC Wafer Boat, розроблений, щоб забезпечити надійне рішення для обробки пластин у різних галузях промисловості. Ці керамічні підставки виготовляються з кераміки високого ступеня чистоти, яка забезпечує чудову стійкість до термічного удару, стирання та хімічної корозії, що робить їх ідеальними для жорстких умов обробки пластин.
Наші вафельні човни з SiC також легко налаштовуються, і ми можемо співпрацювати з вами, щоб створити нестандартні постаменти відповідно до ваших унікальних специфікацій. Ми пишаємося нашою здатністю постачати високоякісні та надійні продукти, які відповідають вимогам наших клієнтів. Наші керамічні вафельні човники створені для довговічності та тривалого терміну служби, гарантуючи, що ви отримаєте максимальну віддачу від своїх інвестицій.
Замовте зараз і відчуйте переваги нашого високоякісного SiC Wafer Boat під час обробки ваших пластин.

Параметри SiC Wafer Boat

Технічні властивості
Індекс	одиниця	Значення
Назва матеріалу		Реакційний спечений карбід кремнію	Спечений без тиску карбід кремнію	Перекристалізований карбід кремнію
Композиція		RBSiC	SSiC	R-SiC
Об'ємна щільність	г/см3	3	3,15 ± 0,03	2,60-2,70
Сила гнучкості	МПа (kpsi)	338(49)	380(55)	80-90 (20°C)90-100(1400°C)
Міцність на стиск	МПа (kpsi)	1120(158)	3970 (560)	> 600
Твердість	Кнуп	2700	2800	/
Порушення наполегливості	МПа м1/2	4.5	4	/
Теплопровідність	Вт/м.к	95	120	23
Коефіцієнт теплового розширення	10^-6.1/°C	5	4	4.7
Питома теплоємність	Джоуль/г 0k	0.8	0.67	/
Максимальна температура повітря	℃	1200	1500	1600
Модуль пружності	Gpa	360	410	240

Особливості SiC Wafer Boat

- CVD покриття з карбіду кремнію для збільшення терміну служби.
- Теплоізоляція з високоефективного очищеного твердого вуглецю.
- Мають високу теплопровідність і відмінні властивості розподілу тепла.
- Покриття з кераміки високої чистоти та SiC для стійкості до точкових отворів та довшого терміну служби