Semicorex пропонує вафельні човники, п’єдестали та спеціалізовані підставки для пластин як для вертикальної/колонної, так і для горизонтальної конфігурації. Протягом багатьох років ми є виробником і постачальником плівки для покриття з карбіду кремнію. Наш SiC Wafer Boat має гарну цінову перевагу та охоплює більшість європейських та американських ринків. Ми з нетерпінням чекаємо можливості стати вашим довгостроковим партнером у Китаї.
Представляємо наш високоякісний SiC Wafer Boat, розроблений, щоб забезпечити надійне рішення для обробки пластин у різних галузях промисловості. Ці керамічні підставки виготовляються з кераміки високого ступеня чистоти, яка забезпечує чудову стійкість до термічного удару, стирання та хімічної корозії, що робить їх ідеальними для жорстких умов обробки пластин.
Наші вафельні човни з SiC також легко налаштовуються, і ми можемо співпрацювати з вами, щоб створити нестандартні постаменти відповідно до ваших унікальних специфікацій. Ми пишаємося нашою здатністю постачати високоякісні та надійні продукти, які відповідають вимогам наших клієнтів. Наші керамічні вафельні човники створені для довговічності та тривалого терміну служби, гарантуючи, що ви отримаєте максимальну віддачу від своїх інвестицій.
Замовте зараз і відчуйте переваги нашого високоякісного SiC Wafer Boat під час обробки ваших пластин.
Параметри SiC Wafer Boat
Технічні властивості |
||||
Індекс |
одиниця |
Значення |
||
Назва матеріалу |
Реакційний спечений карбід кремнію |
Спечений без тиску карбід кремнію |
Перекристалізований карбід кремнію |
|
Композиція |
RBSiC |
SSiC |
R-SiC |
|
Насипна щільність |
г/см3 |
3 |
3,15 ± 0,03 |
2,60-2,70 |
Міцність на згин |
МПа (kpsi) |
338(49) |
380(55) |
80-90 (20°C) 90-100 (1400°C) |
Міцність на стиск |
МПа (kpsi) |
1120(158) |
3970 (560) |
> 600 |
Твердість |
Кнопка |
2700 |
2800 |
/ |
Порушення наполегливості |
МПа м1/2 |
4.5 |
4 |
/ |
Теплопровідність |
Вт/м.к |
95 |
120 |
23 |
Коефіцієнт теплового розширення |
10-6.1/°C |
5 |
4 |
4.7 |
Питома теплоємність |
Джоуль/г 0k |
0.8 |
0.67 |
/ |
Максимальна температура повітря |
℃ |
1200 |
1500 |
1600 |
Модуль пружності |
Gpa |
360 |
410 |
240 |
Особливості SiC Wafer Boat
- CVD покриття з карбіду кремнію для збільшення терміну служби.
- Теплоізоляція з високоефективного очищеного твердого вуглецю.
- Мають високу теплопровідність і відмінні властивості розподілу тепла.
- Кераміка високої чистоти та покриття SiC для стійкості до точкових отворів і довшого терміну служби