SiC вафельні токоприймачі для MOCVD

Пластинчасті фіксатори Semicorex SiC для MOCVD є взірцем точності та інновацій, спеціально створених для полегшення епітаксійного нанесення напівпровідникових матеріалів на пластини. Чудові властивості матеріалу пластин дозволяють їм витримувати суворі умови епітаксійного росту, включаючи високі температури та корозійне середовище, що робить їх незамінними для виробництва високоточних напівпровідників. Ми в Semicorex займаємося виробництвом і постачанням високоефективних пластинчастих токоприймачів SiC для MOCVD, які поєднують якість з економічною ефективністю.

Надіслати запит

Опис продукту

Поєднання термічної стабільності, хімічної стійкості та механічної міцності забезпечує тривалий термін експлуатації пластинчастих фіксаторів Semicorex SiC для MOCVD навіть у важких умовах обробки:

1. Ці пластинчасті електроприймачі SiC для MOCVD сконструйовані таким чином, щоб витримувати надзвичайно високі температури, часто понад 1500°C, без деградації. Ця стійкість має вирішальне значення для процесів, які потребують тривалого впливу високих температур. Чудові термічні властивості мінімізують температурні градієнти та напругу всередині токоприймача, тим самим зменшуючи ризик викривлення або деформації під час екстремальних температур обробки.

2. SiC-покриття SiC Wafer Susceptors для MOCVD забезпечує виняткову стійкість до корозійних хімічних речовин, що використовуються в процесах CVD, таких як гази на основі галогенів. Ця інертність гарантує, що носії не реагують з технологічними газами, таким чином зберігаючи цілісність і чистоту нанесених плівок.

3. Надійна конструкція цих SiC вафельних токоприймачів для MOCVD гарантує, що вони можуть витримувати механічні навантаження під час транспортування та обробки без утворення часток, які можуть забруднити пластину. Однорідність поверхні токоприймачів сприяє відтворюваним умовам обробки, які є важливими для виробництва напівпровідникових приладів із стабільною продуктивністю та надійністю.

Ці розширені описи висвітлюють професійні та технічні переваги SiC Wafer Susceptors для MOCVD у напівпровідникових процесах CVD, підкреслюючи їхні унікальні властивості та переваги у підтримці високих стандартів чистоти, продуктивності та ефективності у виробничому процесі.