Силіконові карбідні човни

Силіконові карбідні човни Semicorex виявляють виняткову теплову стабільність, що дозволяє їм протистояти екстремальній температурі, необхідній для процесів окислення та дифузії. Їх відмінна стійкість до теплового удару мінімізує ризик розтріскування або деформації, забезпечуючи тривалу експлуатаційну довговічність. Композиція SIC високої щільності забезпечує чудову механічну міцність, підтримуючи структурну цілісність навіть при постійному тепловому циклічному циклі. Ця виняткова стійкість до механічного стресу знижує ймовірність забруднення та поломки вафельних виробів, сприяючи більш високому врожаю процесу. Крім того, човни SIC мають видатну хімічну стійкість, залишаючись інертними до агресивних процесів, що використовуються в етапах окислення та дифузії. Ця характеристика запобігає небажаним реакціям, які можуть компрометувати чистоту вафель та ефективність виробництва.

Силіконові карбідні човни в першу чергу використовуються в печах окислення та дифузії, де точний контроль за впливом вафельних температур та реактивних газів є важливим. Вони підтримують вафлі під час термічного окислення для вирощування високоякісних шарів діоксиду кремнію та полегшення рівномірного допінгу за рахунок контрольованого впливу доопантних газів. Крім того, вони забезпечують стабільну платформу для відпалу та інших високотемпературних процедур, які потребують тривалого впливу тепла.

Порівняно з традиційними кварцовими та графітовими човнами, карбідні катери кремнію пропонують неперевершену довговічність, довговічність та продуктивність. Їх здатність протистояти суворим тепловим та хімічним середовищам при мінімізації забруднення робить їх кращим вибором для високоточного напівпровідникового виробництва. Орієнтуючись на якість та інновації, наші карбідні катери кремнію забезпечують чудову продуктивність, забезпечуючи високі врожаї та ефективну обробку вафель для виробників напівпровідників у всьому світі. Незалежно від того, чи є технології розширених вузлів чи застарілого напівпровідникового виготовлення, ці човни забезпечують надійне рішення для задоволення суворих галузевих вимог.

(1) Перевезення та захист: Силіконові карбідні човни переносять напівпровідникові матеріали, такі як вафлі, через внутрішні кронштейни або прорізи, і використовує високу температуру та корозійну стійкість до кремнієвих карбідів для захисту пластинів від зовнішнього середовища.

(2) рівномірне нагрівання: кремнієвий карбідний човен дозволяє рівномірно нагрівати вафлі всередині під час процесу термічної обробки. Це допомагає забезпечити, щоб температура та швидкість реакції кожної частини пластини залишалися послідовними в процесі термічної обробки, тим самим покращуючи вихід та якість пластини.

Наразі існує три основні типикремнієва карбідна керамікаМатеріали: реакція спікання, безпідставне спікання та перекристалізація спікання. У більшості застосувань карбід, що спікав кремнію, є більш підходящим та економічно вигідним продуктом. Перекристалізовані човни SIC, як правило, спіртелі та обробляють кілька частин одиниць спочатку, потім використовуйте Si Paste для з’єднання деталей у човен при високій температурі і, нарешті, нанесіть покриття CVD-SIC (приблизно 100-е). Оскільки перекристалізація є пористою, якщо немає покриття SIC, воно також введе партики в напівпровідниковий процес. Цей тип перекристалізованого човна SIC з CVD-SIC-покриттям має найдовший виробничий процес і дуже дорогий. Порівняно з графітовими човнами з покриттям SIC, перекристалізовані SIC-човни CVD-SIC не мають проблеми з невідповідністю CTE.