Касетні човни з карбіду кремнію

Напівкорекскасетні човни з карбіду кремніює незамінними компонентами для перенесення, завдяки своїй стабільній і високоміцній структурі, безпечно і точно надійно утримують, переносять і обробляють кілька напівпровідникових пластин. Вони широко використовуються в різних високотемпературних напівпровідникових процесах для забезпечення оптимізованого розподілу потоку тепла та газу для стабільних результатів обробки.

Ретельно відібрана сировина

Точно виготовлені з напівпровідникового порошку карбіду кремнію шляхом високотемпературного спікання, касетні човни Semicorex з карбіду кремнію володіють такими відмінними властивостями.

1. Ультрависока чистота:Вміст домішок у підкладці контролюється, щоб бути нижче 100 частин на хвилину, а рівень домішокCVD карбід кремніюпокриття може досягати менше 1 PPM.

2. Надійна стійкість до корозії:Кераміка з карбіду кремнію забезпечує високу корозійну стійкість і стійкість до корозії від більшості кислот (таких як соляна кислота, сірчана кислота та фтористоводнева кислота), лугів (таких як каустична сода), розчинників і окисних середовищ.

3. Виняткова здатність до управління температурою:Завдяки винятковій термічній стійкості та низькому коефіцієнту теплового розширення, касетні човни з карбіду кремнію можуть зберігати свої хімічні властивості та механічну міцність, навіть якщо вони піддаються тривалій експлуатації при високій температурі близько 1250 °C.

Точна інженерна конструкція

1. Горизонтальна каркасна структура:Горизонтальна каркасна структура касетних човнів з карбіду кремнію Semicorex ідеально підходить для горизонтальних високотемпературних трубок печі.

2. Рівномірно розташовані виїмки:Завдяки численним рівномірно розташованим пазам, касетні човни Semicorex з карбіду кремнію можуть міцно утримувати пластину на місці, що може значно запобігти небажаним подряпинам, потертостям і пошкодженням у результаті зміщення пластини, таким чином ефективно забезпечуючи стабільність напівпровідникового процесу та продуктивність пластини.

3. Багатослотова конструкція:Кілька слотів, призначених для розміщення кількох пластин, дозволяють касетним човнам із карбіду кремнію Semicorex підвищити продуктивність односерійної обробки та загальну ефективність виробництва.

4. Відкрита архітектура:Касетні човни з карбіду кремнію Semicorex оснащені продуманою відкритою архітектурою, яка може допомогти досягти рівномірного розподілу газу та достатнього реакційного контакту, що, таким чином, ефективно мінімізує непослідовні результати процесу.