Кераміка з карбіду кремніюлопаті зазвичай встановлюють біля отвору печі або технологічної камери, при цьому один кінець закріплений, а інший кінець простягається в піч або технологічну камеру. Під час робочої обробки керамічні лопаті з карбіду кремнію точно розташовують носій для пластин, що містить пластини, у визначеному місці всередині печі або робочої камери. Після обробки консольні лопаті дістають носій, переміщують його з печі або камери та передають роботизованій руці для наступного етапу обробки.

Переваги карбідокремнієвих керамічних лопатей Semicorex

1. Чудові властивості та надійна якість

Керамічні лопаті з карбіду кремнію Semicorex забезпечують чудову стійкість до високих температур, високу міцність, високу твердість, хімічну стабільність і низький коефіцієнт теплового розширення. Завдяки таким чудовим властивостям керамічні лопаті з карбіду кремнію Semicorex можуть тривалий час витримувати складні умови експлуатації, такі як високі температури, сильна корозія, великі навантаження та часті механічні операції.

2. Точна підтримка та транспортування

Покладаючись на чудову підтримку та транспортування, Semicorexкерамічні лопатки з карбіду кремніюможе точно фіксувати носії для пластин на місці, щоб забезпечити концентричність пластин щодо трубок печі, що значно зменшує неузгодженість процесу, спричинену струшуванням пластин і зміщенням під час процесу.

3. Високоефективна автоматизована робота

Керамічні лопаті з карбіду кремнію Semicorex зазвичай працюють у поєднанні з автоматизованими системами завантаження та транспортування для швидкого завантаження та вивантаження пластин. Це значно скорочує технологічні цикли у виробництві напівпровідників і фотоелектричних пристроїв, підвищує ефективність виробництва та зменшує витрати на ручну роботу та ризики помилок.

Застосування керамічних лопастей з карбіду кремнію Semicorex

1. Виробництво фотоелектричних елементів

Керамічні пластини Semicorex з карбіду кремнію добре підходять для теплових процесів фотоелектричних елементів, таких як дифузія, LPCVD і PECVD елементів TOPCon і PERC. Досягаючи рівномірності та стабільності процесу, ці лопаті сприяють підвищенню ефективності перетворення фотоелектричних елементів.

2. Виробництво напівпровідникових мікросхем

Керамічні пластини Semicorex із карбіду кремнію, які є основними опорними та транспортуючими компонентами, широко застосовуються в таких процесах, як літографія, травлення та осадження під час виробництва напівпровідникових мікросхем, забезпечуючи постійну стабільну передачу та точне позиціонування пластин.