Вафельний човен з карбіду кремнію

Semicorex пропонує вафельні човники, п’єдестали та спеціалізовані підставки для пластин як для вертикальної/колонної, так і для горизонтальної конфігурації. Протягом багатьох років ми є виробником і постачальником плівки для покриття з карбіду кремнію. Наш керамічний вафельний човен із карбіду кремнію має гарну цінову перевагу та охоплює більшість європейських та американських ринків. Ми з нетерпінням чекаємо можливості стати вашим довгостроковим партнером у Китаї.

Надіслати запит

Опис продукту

Керамічна пластина з карбіду кремнію Semicorex, найкраще рішення для обробки та захисту пластин у виробництві напівпровідників.
Наш керамічний вафельний човен із карбіду кремнію виготовлено з високоякісного матеріалу, покритого шаром карбіду кремнію (SiC) за допомогою методу CVD, який має гарну стійкість до корозії та чудову стійкість до високих температур і термічного удару. Удосконалена кераміка забезпечує чудову термостійкість і стійкість до плазми, одночасно пом’якшуючи частки та забруднювачі для носіїв пластин великої ємності.

Параметри карбідокремнієвої керамічної вафельної човнички

Технічні властивості
Індекс	одиниця	Значення
Назва матеріалу		Реакційний спечений карбід кремнію	Спечений без тиску карбід кремнію	Перекристалізований карбід кремнію
Композиція		RBSiC	SSiC	R-SiC
Насипна щільність	г/см3	3	3,15 ± 0,03	2,60-2,70
Міцність на згин	МПа (kpsi)	338(49)	380(55)	80-90 (20°C) 90-100 (1400°C)
Міцність на стиск	МПа (kpsi)	1120(158)	3970 (560)	> 600
Твердість	Кнопка	2700	2800	/
Порушення наполегливості	МПа м1/2	4.5	4	/
Теплопровідність	Вт/м.к	95	120	23
Коефіцієнт теплового розширення	10^-6.1/°C	5	4	4.7
Питома теплоємність	Джоуль/г 0k	0.8	0.67	/
Максимальна температура повітря	℃	1200	1500	1600
Модуль пружності	Gpa	360	410	240

Різниця між SSiC і RBSiC:

1. Процес спікання відрізняється. RBSiC має просочувати вільний Si в карбід кремнію при низькій температурі, SSiC утворюється природною усадкою при 2100 градусах.

2. SSiC має більш гладку поверхню, вищу щільність і вищу міцність, для деяких ущільнювачів із суворішими вимогами до поверхні SSiC буде кращим.

3. Різний час використання за різного PH і температури, SSiC довше, ніж RBSiC

Особливості керамічного вафельного човна з карбіду кремнію

Чудова термостійкість і теплова однорідність
Тонкий кристал SiC з покриттям для гладкої поверхні
Висока стійкість до хімічного очищення
Матеріал розроблений таким чином, щоб не було тріщин і розшарувань.