Semicorex — ваш партнер у вдосконаленні обробки напівпровідників. Наші покриття з карбіду кремнію є щільними, стійкими до високих температур і хімікатів, які часто використовуються в усьому циклі виробництва напівпровідників, включаючи напівпровідникові пластини, обробку пластин і виготовлення напівпровідників.
Високочисті керамічні компоненти SiC мають вирішальне значення для процесів у напівпровіднику. Наша пропозиція варіюється від витратних матеріалів для обладнання для обробки пластин, таких як вафельний човен з карбіду кремнію, консольні лопаті, труби тощо для епітаксії або MOCVD.
Переваги для напівпровідникових процесів
Фази осадження тонкої плівки, такі як епітаксія чи MOCVD, або обробка пластин, наприклад травлення чи іонна імплантація, повинні витримувати високі температури та жорстке хімічне очищення. Semicorex постачає конструкцію з карбіду кремнію (SiC) високої чистоти, яка забезпечує чудову термостійкість і тривалу хімічну стійкість, рівномірну термічну однорідність для сталої товщини та стійкості епі-шару.
Кришки камери →
Кришки камер, які використовуються для вирощування кристалів і обробки пластин, повинні витримувати високі температури та жорстке хімічне очищення.
Консольне весло →
Консольна пластина є важливим компонентом, який використовується в процесах виробництва напівпровідників, зокрема в дифузійних або LPCVD печах під час таких процесів, як дифузія та RTP.
Технологічна трубка →
Process Tube — це важливий компонент, спеціально розроблений для різних програм обробки напівпровідників, таких як RTP, дифузія.
Вафельні кораблики →
Wafer Boat використовується в обробці напівпровідників, він був ретельно розроблений, щоб забезпечити безпеку делікатних пластин під час критичних етапів виробництва.
Впускні кільця →
Газове вхідне кільце з покриттям SiC за допомогою обладнання MOCVD Зростання сполуки має високу стійкість до тепла та корозії, що має високу стабільність у екстремальних умовах.
Кільце фокусування →
Semicorex постачає кільце фокусування з покриттям з карбіду кремнію, яке дійсно стійке до RTA, RTP або жорсткого хімічного очищення.
Вафельний патрон →
Ультраплоскі керамічні вакуумні вафельні патрони Semicorex мають покриття SiC високої чистоти, яке використовується в процесі обробки пластин.
Semicorex також має керамічні вироби з оксиду алюмінію (Al2O3), нітриду кремнію (Si3N4), нітриду алюмінію (AIN), оксиду цирконію (ZrO2), композитної кераміки тощо.
Semicorex забезпечує високоякісне ущільнювальне кільце з індивідуальним обслуговуванням. Semicorex прагне надавати якісну продукцію за конкурентоспроможними цінами, ми з нетерпінням чекаємо можливості стати вашим довгостроковим партнером у Китаї.
ДетальнішеНадіслати запитSemicorex пропонує кілька типів модифікованих C/SiC композитів (композитів з керамічною матрицею, CMC), цирконію та гафнію, кремнію. Semicorex прагне надавати якісну продукцію за конкурентоспроможними цінами, ми з нетерпінням чекаємо можливості стати вашим довгостроковим партнером у Китаї.
ДетальнішеНадіслати запитКерамічні матричні композити SiC/SiC (CMC) є інноваційним рішенням для вдосконалення аерокосмічних застосувань, зокрема компонентів турбінних двигунів і систем теплового захисту. Використовуючи SiC, продуктивність і довговічність цих критичних компонентів можуть бути значно покращені, що призведе до безпечніших і ефективніших аерокосмічних технологій. Semicorex прагне надавати якісну продукцію за конкурентоспроможними цінами, ми з нетерпінням чекаємо можливості стати вашим довгостроковим партнером у Китаї.
ДетальнішеНадіслати запитC/SiC Ceramic Matrix Composites — це новий тип термічної структури/функціонального інтеграційного матеріалу, який поєднує в собі переваги металевих, керамічних і вуглецевих матеріалів і має такі характеристики, як стійкість до високих температур, низька щільність, високий коефіцієнт міцності, високий питомий модуль, стійкість до окислення, стійкість до абляції, нечутливість до тріщин і відсутність катастрофічних пошкоджень. Semicorex прагне надавати якісну продукцію за конкурентоспроможними цінами, ми з нетерпінням чекаємо можливості стати вашим довгостроковим партнером у Китаї.
ДетальнішеНадіслати запитВідкрийте для себе втілення продуктивності та довговічності в області напівпровідникового обладнання за допомогою нашої передової кришки кришки з графітового покриття SiC. Цей дископодібний компонент спеціально розроблений для різних застосувань у напівпровідниках, пропонуючи унікальне поєднання графіту та покриття з карбіду кремнію (SiC) для підвищення функціональності та ефективності. Semicorex прагне надавати якісну продукцію за конкурентоспроможними цінами, ми з нетерпінням чекаємо можливості стати вашим довгостроковим партнером у Китаї.
ДетальнішеНадіслати запитВідчуйте втілення точності в обробці поверхні напівпровідникових пластин за допомогою нашого передового шліфувального круга з карбіду кремнію. Цей дископодібний компонент, ретельно розроблений для напівпровідникового обладнання, змінює стандарти поверхневого шліфування, забезпечуючи оптимальні результати для напівпровідникових пластин. Semicorex прагне надавати якісну продукцію за конкурентоспроможними цінами, ми з нетерпінням чекаємо можливості стати вашим довгостроковим партнером у Китаї.
ДетальнішеНадіслати запит