Semicorex — ваш партнер у вдосконаленні обробки напівпровідників. Наші покриття з карбіду кремнію є щільними, стійкими до високих температур і хімікатів, які часто використовуються в усьому циклі виробництва напівпровідників, включаючи напівпровідникові пластини, обробку пластин і виготовлення напівпровідників.
Високочисті керамічні компоненти SiC мають вирішальне значення для процесів у напівпровіднику. Наша пропозиція варіюється від витратних матеріалів для обладнання для обробки пластин, таких як вафельний човен з карбіду кремнію, консольні лопаті, труби тощо для епітаксії або MOCVD.
Переваги для напівпровідникових процесів
Фази осадження тонкої плівки, такі як епітаксія чи MOCVD, або обробка пластин, наприклад травлення чи іонна імплантація, повинні витримувати високі температури та жорстке хімічне очищення. Semicorex постачає конструкцію з карбіду кремнію (SiC) високої чистоти, яка забезпечує чудову термостійкість і тривалу хімічну стійкість, рівномірну термічну однорідність для сталої товщини та стійкості епі-шару.
Кришки камери →
Кришки камер, які використовуються для вирощування кристалів і обробки пластин, повинні витримувати високі температури та жорстке хімічне очищення.
Консольне весло →
Консольна пластина є важливим компонентом, який використовується в процесах виробництва напівпровідників, зокрема в дифузійних або LPCVD печах під час таких процесів, як дифузія та RTP.
Технологічна трубка →
Process Tube — це важливий компонент, спеціально розроблений для різних програм обробки напівпровідників, таких як RTP, дифузія.
Вафельні кораблики →
Wafer Boat використовується в обробці напівпровідників, він був ретельно розроблений, щоб забезпечити безпеку делікатних пластин під час критичних етапів виробництва.
Впускні кільця →
Газове вхідне кільце з покриттям SiC за допомогою обладнання MOCVD Зростання сполуки має високу стійкість до тепла та корозії, що має високу стабільність у екстремальних умовах.
Кільце фокусування →
Semicorex постачає кільце фокусування з покриттям з карбіду кремнію, яке дійсно стійке до RTA, RTP або жорсткого хімічного очищення.
Вафельний патрон →
Ультраплоскі керамічні вакуумні вафельні патрони Semicorex мають покриття SiC високої чистоти, яке використовується в процесі обробки пластин.
Semicorex також має керамічні вироби з оксиду алюмінію (Al2O3), нітриду кремнію (Si3N4), нітриду алюмінію (AIN), оксиду цирконію (ZrO2), композитної кераміки тощо.
Semicorex ICP Etching Plate — це вдосконалений високопродуктивний компонент, спеціально розроблений для напівпровідникових застосувань, виготовлений із карбіду кремнію (SiC). Semicorex прагне надавати якісну продукцію за конкурентоспроможними цінами, тому ми сподіваємося стати вашим довгостроковим партнером у Китаї*.
ДетальнішеНадіслати запитРефлектор Semicorex SiC є ключовим елементом у різних процесах виробництва напівпровідників. Semicorex прагне надавати якісну продукцію за конкурентоспроможними цінами, тому ми з нетерпінням чекаємо можливості стати вашим довгостроковим партнером у Китаї*.
ДетальнішеНадіслати запитКерамічні теплообмінні пластини Semicorex SiC, на основі SiC як основного матеріалу, піддаються високотемпературному спіканню при 2250°C, в результаті чого утворюється щільне керамічне тіло з нульовою пористістю високої оскловатості з вмістом SiC ≥99,3%. Завдяки міцності на вигин ≥410 МПа та теплопровідності 140 Вт/мк, ця кераміка є єдиним матеріалом, здатним протистояти корозії, викликаній сильними кислотами, такими як плавикова кислота (HF) і сірчана кислота (H2SO4), у напівпровідниковій промисловості. Ми в Semicorex займаємося виробництвом і постачанням високоефективних керамічних теплообмінних пластин SiC, які поєднують якість з економічною ефективністю. **
ДетальнішеНадіслати запитКерамічні структурні деталі з карбіду кремнію Semicorex, отримані із зерен карбіду кремнію, з’єднаних спіканням, знаходять широке застосування в автомобільній, механічній, хімічній, напівпровідниковій, космічній техніці, мікроелектроніці та енергетичному секторі, виконуючи важливі ролі в різних сферах застосування в цих галузях. Завдяки своїм чудовим властивостям керамічні структурні деталі з карбіду кремнію стали ідеальним матеріалом для суворих умов, що характеризуються високими температурами, високим тиском, корозією та стиранням, забезпечуючи надійну роботу та довговічність у складних умовах експлуатації.**
ДетальнішеНадіслати запитКерамічні фланці з оксиду алюмінію – це розроблені компоненти, які пропонують значні переваги, особливо в умовах, де першорядне значення мають термічна стабільність, міркування щодо ваги та стійкість до корозії. Ці фланці не тільки довговічні та надійні, але також сприяють загальній ефективності та економічній ефективності систем, у яких вони використовуються. Їх унікальні властивості роблять їх чудовим вибором для передових інженерних рішень у різних галузях промисловості. Ми в Semicorex присвячені виробництву та постачанню високоефективних керамічних фланців із оксиду алюмінію, які поєднують якість із економічною ефективністю.**
ДетальнішеНадіслати запитВакуумний патрон Semicorex Alumina — це прецизійний утримуючий пристрій, призначений для розширеного виробництва та досліджень. Semicorex прагне надавати якісну продукцію за конкурентоспроможними цінами, тому ми з нетерпінням чекаємо можливості стати вашим довгостроковим партнером у Китаї*.
ДетальнішеНадіслати запит