Semicorex — ваш партнер у вдосконаленні обробки напівпровідників. Наші покриття з карбіду кремнію є щільними, стійкими до високих температур і хімікатів, які часто використовуються в усьому циклі виробництва напівпровідників, включаючи напівпровідникові пластини, обробку пластин і виготовлення напівпровідників.
Високочисті керамічні компоненти SiC мають вирішальне значення для процесів у напівпровіднику. Наша пропозиція варіюється від витратних матеріалів для обладнання для обробки пластин, таких як вафельний човен з карбіду кремнію, консольні лопаті, труби тощо для епітаксії або MOCVD.
Переваги для напівпровідникових процесів
Фази осадження тонкої плівки, такі як епітаксія або MOCVD, або обробка пластин, наприклад травлення чи іонна імплантація, повинні витримувати високі температури та жорстке хімічне очищення. Semicorex постачає конструкцію з високочистого карбіду кремнію (SiC), яка забезпечує чудову термостійкість і довговічну хімічну стійкість, рівномірну термічну однорідність для стабільної товщини і стійкості епі-шару.
Кришки камери →
Кришки камер, які використовуються для вирощування кристалів і обробки пластин, повинні витримувати високі температури та жорстке хімічне очищення.
Консольне весло →
Консольна пластина є важливим компонентом, який використовується в процесах виробництва напівпровідників, зокрема в дифузійних або LPCVD печах під час таких процесів, як дифузія та RTP.
Технологічна трубка →
Process Tube — це важливий компонент, спеціально розроблений для різних програм обробки напівпровідників, таких як RTP, дифузія.
Вафельні кораблики →
Wafer Boat використовується в обробці напівпровідників, він був ретельно розроблений, щоб забезпечити безпеку делікатних пластин під час критичних етапів виробництва.
Впускні кільця →
Газове вхідне кільце з покриттям SiC за допомогою обладнання MOCVD Зростання сполуки має високу стійкість до тепла та корозії, що має високу стабільність у екстремальних умовах.
Кільце фокусування →
Semicorex постачає кільце фокусування з покриттям з карбіду кремнію, яке дійсно стійке до RTA, RTP або жорсткого хімічного очищення.
Вафельний патрон →
Ультраплоскі керамічні вакуумні вафельні патрони Semicorex мають покриття SiC високої чистоти, яке використовується в процесі обробки пластин.
Semicorex також має керамічні вироби з оксиду алюмінію (Al2O3), нітриду кремнію (Si3N4), нітриду алюмінію (AIN), оксиду цирконію (ZrO2), композитної кераміки тощо.
Човен із карбіду кремнію Semicorex — це високоефективний компонент, розроблений для використання в процесах дифузії напівпровідників, що забезпечує виняткову термостабільність, зносостійкість і хімічну стійкість. Виберіть Semicorex за його розширені виробничі можливості, що забезпечують надійну, високоякісну продукцію, яка забезпечує оптимальну продуктивність у складних напівпровідникових і промислових застосуваннях.*
ДетальнішеНадіслати запитSemicorex надає пріоритет якості та продуктивності, гарантуючи, що кожна прокладка SiC відповідає суворим промисловим стандартам. Наші передові виробничі процеси гарантують, що наша продукція забезпечує постійні та надійні результати, позиціонуючи Semicorex як лідера в галузі передової кераміки.
ДетальнішеНадіслати запитШліфувальні матеріали Semicorex SiC виготовлені з карбіду кремнію, матеріалу, відомого своєю винятковою твердістю та довговічністю. Розроблені для задоволення суворих вимог різноманітних промислових застосувань, шліфувальні матеріали SiC пропонують неперевершену ефективність і довговічність.
ДетальнішеНадіслати запитSemicorex 6 Inch SiC Boat — це високоефективний носій для пластин, виготовлений із карбіду кремнію, розроблений для використання у високотемпературних напівпровідникових процесах, таких як окислення та дифузія. Semicorex забезпечує високоякісну продукцію з винятковою термічною стабільністю, відмінною хімічною стійкістю та прагненням до надійної та тривалої роботи у вимогливих напівпровідникових додатках.*
ДетальнішеНадіслати запитВертикальний кремнієвий човен Semicorex — це важливий компонент, який використовується в процесах виробництва напівпровідників. Semicorex пропонує індивідуальний вертикальний кремнієвий човен із неперевершеною якістю та точністю, розроблений відповідно до суворих вимог напівпровідникової промисловості.*
ДетальнішеНадіслати запитУщільнювальне кільце Si3N4 від Semicorex представляє значний прогрес у керамічній інженерії, виготовлене з Si3N4, виняткового неорганічного матеріалу. Ця кераміка відома своєю унікальною властивістю не давати усадки під час процесу спікання, забезпечуючи стабільність розмірів і консистенцію.
ДетальнішеНадіслати запит