Semicorex — ваш партнер у вдосконаленні обробки напівпровідників. Наші покриття з карбіду кремнію є щільними, стійкими до високих температур і хімікатів, які часто використовуються в усьому циклі виробництва напівпровідників, включаючи напівпровідникові пластини, обробку пластин і виготовлення напівпровідників.
Високочисті керамічні компоненти SiC мають вирішальне значення для процесів у напівпровіднику. Наша пропозиція варіюється від витратних матеріалів для обладнання для обробки пластин, таких як вафельний човен з карбіду кремнію, консольні лопаті, труби тощо для епітаксії або MOCVD.
Переваги для напівпровідникових процесів
Фази осадження тонкої плівки, такі як епітаксія чи MOCVD, або обробка пластин, наприклад травлення чи іонна імплантація, повинні витримувати високі температури та жорстке хімічне очищення. Semicorex постачає конструкцію з карбіду кремнію (SiC) високої чистоти, яка забезпечує чудову термостійкість і тривалу хімічну стійкість, рівномірну термічну однорідність для сталої товщини та стійкості епі-шару.
Кришки камери →
Кришки камер, які використовуються для вирощування кристалів і обробки пластин, повинні витримувати високі температури та жорстке хімічне очищення.
Консольне весло →
Консольна пластина є важливим компонентом, який використовується в процесах виробництва напівпровідників, зокрема в дифузійних або LPCVD печах під час таких процесів, як дифузія та RTP.
Технологічна трубка →
Process Tube — це важливий компонент, спеціально розроблений для різних програм обробки напівпровідників, таких як RTP, дифузія.
Вафельні кораблики →
Wafer Boat використовується в обробці напівпровідників, він був ретельно розроблений, щоб забезпечити безпеку делікатних пластин під час критичних етапів виробництва.
Впускні кільця →
Газове вхідне кільце з покриттям SiC за допомогою обладнання MOCVD Зростання сполуки має високу стійкість до тепла та корозії, що має високу стабільність у екстремальних умовах.
Кільце фокусування →
Semicorex постачає кільце фокусування з покриттям з карбіду кремнію, яке дійсно стійке до RTA, RTP або жорсткого хімічного очищення.
Вафельний патрон →
Ультраплоскі керамічні вакуумні вафельні патрони Semicorex мають покриття SiC високої чистоти, яке використовується в процесі обробки пластин.
Semicorex також має керамічні вироби з оксиду алюмінію (Al2O3), нітриду кремнію (Si3N4), нітриду алюмінію (AIN), оксиду цирконію (ZrO2), композитної кераміки тощо.
Патрон із карбіду кремнію Semicorex — це вузькоспеціалізований компонент, який використовується у виробництві напівпровідників. Semicorex прагне надавати якісну продукцію за конкурентоспроможними цінами, тому ми з нетерпінням чекаємо можливості стати вашим довгостроковим партнером у Китаї*.
ДетальнішеНадіслати запитПатрон Semicorex SiC, або патрон із карбіду кремнію, — це спеціалізований компонент, який в основному використовується у виробництві напівпровідників і для точної обробки. Semicorex прагне надавати якісну продукцію за конкурентоспроможними цінами, ми з нетерпінням чекаємо можливості стати вашим довгостроковим партнером у Китаї.
ДетальнішеНадіслати запитСкелет літографічної машини Semicorex є важливим структурним компонентом, призначеним для підтримки та стабілізації складного механізму, задіяного в процесах фотолітографії. Semicorex прагне надавати якісну продукцію за конкурентоспроможними цінами, ми з нетерпінням чекаємо можливості стати вашим довгостроковим партнером у Китаї.
ДетальнішеНадіслати запитКерамічні вафельні патрони Semicorex з глинозему не обмежуються однією галуззю; їхні унікальні властивості роблять їх придатними для широкого спектру застосувань. У секторі напівпровідників вони використовуються для утримання пластин під час виготовлення мікросхем. У хімічній промисловості їх стійкість до корозії робить їх ідеальними для роботи з агресивними речовинами. Застосування в навколишньому середовищі виграють від їх стабільності та стійкості до зношування, тоді як їхні механічні властивості використовуються для розробки функціональних матеріалів. Ми в Semicorex присвячені виробництву та постачанню високопродуктивних глиноземних керамічних вафельних патронів, які поєднують якість з економічною ефективністю.
ДетальнішеНадіслати запитПорошок Semicorex SiC, також відомий як порошок карбіду кремнію, є дрібно подрібненим матеріалом, який переважно складається з карбіду кремнію α-фази N-типу. Semicorex прагне надавати якісну продукцію за конкурентоспроможними цінами, ми з нетерпінням чекаємо можливості стати вашим довгостроковим партнером у Китаї.
ДетальнішеНадіслати запитПорошок карбіду кремнію N-типу Semicorex (SiC) — це легований SiC матеріал високої чистоти, спеціально розроблений для передових застосувань для вирощування кристалів. Semicorex прагне надавати якісну продукцію за конкурентоспроможними цінами, ми з нетерпінням чекаємо можливості стати вашим довгостроковим партнером у Китаї.
ДетальнішеНадіслати запит