Керамічні вафельні човни з карбіду кремнію

Преміальний вибір матеріалів

Відмінні властивості карбідокремнієвої кераміки Semicorexвафельні корабликиобумовлені високоякісною сировиною. Керамічні пластини з карбіду кремнію, виготовлені з напівпровідникового матеріалу SiSiC і покриті покриттям CVD SiC, демонструють такі чудові властивості.

1. Ультрависокої чистоти, без виділення металевих домішок

Домішка субстрату: <100 ppm

Домішка CVD покриття SiC: <1 ppm

2. Чудова термічна стабільність

Човни з керамічних пластин з карбіду кремнію здатні стабільно працювати в умовах високої температури 1250 ℃, забезпечуючи мінімальний опір деформації та повзучості.

3. Висока механічна міцність

Карбід кремніюмає високу твердість і зносостійкість, завдяки чому керамічні вафельні пластини з карбіду кремнію Semicorex стійкі до подряпин, потертостей і пошкоджень, тому добре працюють під час тривалої експлуатації і є стійкими до пошкоджень.

4. Виняткова стійкість до корозії

Оскільки карбід кремнію стійкий до корозії, викликаної сильними кислотами та лугами, керамічні вафельні човни з карбіду кремнію Semicorex можуть зберігати свою структурну цілісність і функціональні характеристики навіть у дуже корозійних робочих умовах.

Оптимізований структурний дизайн

Керамічні пластини з карбіду кремнію Semicorex розроблені для періодичної обробки пластин, їх оптимізована структурна основа забезпечує стабільну підтримку партійних пластин і постійну стабільність процесу для кожної пластини.

Вертикальна опорна конструкція 1,3 стійки

Вертикальна структура керамічних пластин Semicorex з карбіду кремнію дозволяє їм ідеально поєднуватися з вертикальними печами. Завдяки такій структурі керамічні пластини з карбіду кремнію emicorex можуть сприяти однорідній циркуляції технологічних газів і рівномірному розподілу теплової енергії всередині високотемпературної печі.

2. Рівномірно розподілені защемлення щілин

Керамічні вафельні човни з карбіду кремнію Semicorex оснащені декількома прецизійними пазами на опорних стійках. Їх рівномірно розташовані щіпки щілин забезпечують належний відстань між щілинами, що дає змогу міцно закріплювати напівпровідникові пластини напівпровідникових пластинах із карбідкремнієвих керамічних пластин, тим самим сприяючи покращенню стабільності результатів термічної обробки пластин.

Керамічні пластини з карбіду кремнію Semicorex мають так багато чудових характеристик і функцій, широко використовуються в основних процесах виробництва напівпровідникових пластин, таких як окислення, дифузія, іонна імплантація та високотемпературний відпал.