Графітова бочка з покриттям з карбіду кремнію

Графітова циліндра з покриттям з карбіду кремнію Semicorex є ідеальним вибором для застосування у виробництві напівпровідників, де потрібна висока термостійкість і стійкість до корозії. Його виняткова теплопровідність і властивості розподілу тепла роблять його ідеальним для використання в процесах LPE та інших високотемпературних середовищах.

Надіслати запит

Опис продукту

Що стосується виробництва напівпровідників, графітовий корпус Semicorex із покриттям з карбіду кремнію є найкращим вибором завдяки винятковій продуктивності та надійності. Його високоякісне покриття SiC, чудова щільність і теплопровідність забезпечують чудовий розподіл тепла та захист навіть у найскладніших високотемпературних і корозійних середовищах.

Наш графітовий ствол із покриттям із карбіду кремнію забезпечує рівномірний тепловий профіль, що гарантує найкращу ламінарну схему потоку газу. Це запобігає дифузії будь-яких забруднень або домішок у пластину, що робить її ідеальною для використання в чистих приміщеннях. Semicorex є великомасштабним виробником і постачальником графітових токоприймачів із покриттям SiC у Китаї, і наші продукти мають гарну цінову перевагу. Ми з нетерпінням чекаємо можливості стати вашим довгостроковим партнером у галузі напівпровідників.

Параметри графітового ствола з карбідом кремнію

Основні характеристики покриття CVD-SIC
Властивості SiC-CVD
Кристалічна структура	FCC β фаза
Щільність	г/см³	3.21
Твердість	Твердість за Віккерсом	2500
Розмір зерна	мкм	2~10
Хімічна чистота	%	99.99995
Теплоємність	Дж кг-1 К-1	640
Температура сублімації	℃	2700
Згинальна сила	МПа (RT 4 точки)	415
Модуль Юнга	Gpa (вигин 4 точки, 1300 ℃)	430
Теплове розширення (C.T.E)	10-6К-1	4.5
Теплопровідність	(Вт/мК)	300

Особливості графітового ствола з карбідом кремнію

- Графітова підкладка та шар карбіду кремнію мають хорошу щільність і можуть відігравати хорошу захисну роль у високотемпературних та корозійних робочих середовищах.

- Сусцептор з покриттям з карбіду кремнію, який використовується для вирощування монокристалів, має дуже високу площинність поверхні.

- Зменшити різницю в коефіцієнті теплового розширення між графітовою підкладкою та шаром карбіду кремнію, ефективно підвищити міцність зв’язку, щоб запобігти розтріскуванням і відшаруванням.

- І графітова підкладка, і шар карбіду кремнію мають високу теплопровідність і відмінні властивості розподілу тепла.

- Висока температура плавлення, стійкість до окислення при високій температурі, стійкість до корозії.