SiC-суцептор для MOCVD

Semicorex є провідним виробником і постачальником SiC Susceptor для MOCVD. Наш продукт спеціально розроблений для задоволення потреб напівпровідникової промисловості у вирощуванні епітаксійного шару на чіпі пластини. Виріб використовується як центральна пластина в MOCVD із зубчастою або кільцевою конструкцією. Він має високу термостійкість і стійкість до корозії, що робить його ідеальним для використання в екстремальних умовах.

Надіслати запит

Опис продукту

Наш SiC-суцептор для MOCVD — це високоякісний продукт, який має кілька ключових особливостей. Він забезпечує покриття на всій поверхні, уникаючи відшарування, і має стійкість до високотемпературного окислення, забезпечуючи стабільність навіть при високих температурах до 1600°C. Продукт виготовляється з високою чистотою шляхом хімічного осадження з парової фази CVD в умовах високотемпературного хлорування. Він має щільну поверхню з дрібними частинками, що робить його високостійким до корозії кислотою, лугом, сіллю та органічними реагентами.
Наш SiC-суцептор для MOCVD розроблений, щоб гарантувати найкращу ламінарну схему потоку газу, забезпечуючи рівномірність теплового профілю. Це запобігає будь-якому забрудненню або дифузії домішок, забезпечуючи високоякісне епітаксійне зростання на чіпі пластини.

Параметри SiC-суцептора для MOCVD

Основні характеристики покриття CVD-SIC
Властивості SiC-CVD
Кристалічна структура	FCC β фаза
Щільність	г/см³	3.21
Твердість	Твердість за Віккерсом	2500
Розмір зерна	мкм	2~10
Хімічна чистота	%	99.99995
Теплоємність	Дж кг-1 К-1	640
Температура сублімації	℃	2700
Згинальна сила	МПа (RT 4 точки)	415
Модуль Юнга	Gpa (вигин 4 точки, 1300 ℃)	430
Теплове розширення (C.T.E)	10-6К-1	4.5
Теплопровідність	(Вт/мК)	300

Особливості SiC Susceptor для MOCVD

- Уникайте відшаровування та забезпечте покриття на всій поверхні
Стійкість до високотемпературного окислення: стабільна при високих температурах до 1600°C
Висока чистота: виготовлено методом CVD хімічного осадження з парової фази в умовах високотемпературного хлорування.
Стійкість до корозії: висока твердість, щільна поверхня і дрібні частинки.
Стійкість до корозії: кислоти, луги, солі та органічні реагенти.
- Досягнення найкращої ламінарної моделі потоку газу
- Гарантія рівності теплового профілю
- Запобігайте будь-якому забрудненню або дифузії домішок