Карбід кремнію, графітова підкладка MOCVD-суцептор

Наш MOCVD-сусцептор із графітовою підкладкою з карбіду кремнію має високу чистоту, виготовлений шляхом хімічного осадження з парової фази CVD в умовах високотемпературного хлорування, що забезпечує однорідність і консистенцію продукту. Він також має високу корозійну стійкість, має щільну поверхню та дрібні частинки, що робить його стійким до кислот, лугів, солі та органічних реагентів. Його стійкість до високотемпературного окислення забезпечує стабільність при високих температурах до 1600°C.
Зв’яжіться з нами сьогодні, щоб дізнатися більше про наш MOCVD-суцептор із графітовою підкладкою з карбіду кремнію.

Параметри MOCVD-суцептора з графітової підкладки з карбіду кремнію

Особливості графітового чутливого елемента з покриттям SiC для MOCVD

- Уникайте відшаровування та забезпечте покриття на всій поверхні
Стійкість до високотемпературного окислення: стабільна при високих температурах до 1600°C
Висока чистота: виготовлено методом CVD хімічного осадження з парової фази в умовах високотемпературного хлорування.
Стійкість до корозії: висока твердість, щільна поверхня і дрібні частинки.
Стійкість до корозії: кислоти, луги, солі та органічні реагенти.
- Досягнення найкращої ламінарної моделі потоку газу
- Гарантія рівності теплового профілю
- Запобігайте будь-якому забрудненню або дифузії домішок