Карбід кремнію, графітова підкладка MOCVD

Тонкоприймач MOCVD із графітовою підкладкою з карбіду кремнію Semicorex є найкращим вибором для виробників напівпровідників, яким потрібен високоякісний носій, який може забезпечити чудову продуктивність і довговічність. Його вдосконалений матеріал забезпечує рівномірний тепловий профіль і ламінарну схему потоку газу, забезпечуючи високоякісні пластини.

Надіслати запит

Опис продукту

Наш MOCVD-суцептор із графітовою підкладкою з карбіду кремнію має високу чистоту, виготовлений шляхом хімічного осадження з парової фази CVD в умовах високотемпературного хлорування, що забезпечує однорідність і консистенцію продукту. Він також має високу корозійну стійкість, має щільну поверхню та дрібні частинки, що робить його стійким до кислот, лугів, солі та органічних реагентів. Його стійкість до високотемпературного окислення забезпечує стабільність при високих температурах до 1600°C.
Зв’яжіться з нами сьогодні, щоб дізнатися більше про наш MOCVD-суцептор із графітовою підкладкою з карбіду кремнію.

Параметри MOCVD-суцептора з графітової підкладки з карбіду кремнію

Основні характеристики покриття CVD-SIC
Властивості SiC-CVD
Кристалічна структура	FCC Î² фаза
Щільність	г/см³	3.21
Твердість	Твердість за Віккерсом	2500
Розмір зерна	Î¼m	2~10
Хімічна чистота	%	99.99995
Теплоємність	Дж·кг-1 ·К-1	640
Температура сублімації	℃	2700
Згинальна сила	МПа (RT 4 точки)	415
Модуль Юнга	Gpa (вигин 4 точки, 1300 °)	430
Теплове розширення (C.T.E)	10-6К-1	4.5
Теплопровідність	(Вт/мК)	300

Характеристики графітового чутливого елемента з покриттям SiC для MOCVD

- Уникайте відшаровування та забезпечте покриття на всій поверхні
Стійкість до високотемпературного окислення: стабільна при високих температурах до 1600°C
Висока чистота: виготовлено методом CVD хімічного осадження з парової фази в умовах високотемпературного хлорування.
Стійкість до корозії: висока твердість, щільна поверхня і дрібні частинки.
Стійкість до корозії: кислоти, луги, солі та органічні реагенти.
- Досягнення найкращої ламінарної моделі потоку газу
- Гарантія рівності теплового профілю
- Запобігайте будь-якому забрудненню або дифузії домішок

Гарячі теги: Суцептор MOCVD на графітній підкладці з карбіду кремнію, Китай, виробники, постачальники, фабрика, індивідуальні, масові, вдосконалені, довговічні