Пластина для травлення карбіду кремнію ICP

Пластина для травлення карбіду кремнію ICPРобоче середовище ICP вимагає чистоти на рівні напівпровідників. Пластина для травлення ICP з карбіду кремнію Semicorex може повністю відповідати цій вимозі, забезпечуючи виняткову стійкість до хімічних газів (таких як хлор і фтор) і плазми середовищ травлення ICP. Ця важлива особливість підтримує технологічне середовище чистим, зменшуючи кількість забруднень, що виділяються під час операцій травлення.

Пластина для травлення з карбіду кремнію ICP має можливості керування температурою. Чудова теплопровідністьSIC керамікаКарбід кремнію ICP Etching Plate надає здатність швидко розсіювати тепло, що допомагає запобігти локальному перегріву заготовки та забезпечити рівномірність температури травлення, тим самим покращуючи якість травлення. Кераміка SiC має низький коефіцієнт теплового розширення, що дозволяє пластині для травлення з карбіду кремнію ICP підтримувати стабільність розмірів і зменшувати зсув або деформацію заготовки, викликану тепловим розширенням.

Покладаючись на чудові властивості твердості та міцності, пластина для травлення з карбіду кремнію ICP демонструє здатність витримувати механічні навантаження та вплив плазми, що виникають під час процесу травлення, з мінімальною деформацією чи пошкодженням. Ця здатність ефективно підвищує продуктивність і ефективність виробництва напівпровідникових пристроїв.

Робоче середовище ICP вимагає чистоти на рівні напівпровідників. Пластина для травлення ICP з карбіду кремнію Semicorex може повністю відповідати цій вимозі, забезпечуючи виняткову стійкість до хімічних газів (таких як хлор і фтор) і плазми середовищ травлення ICP. Ця важлива особливість підтримує технологічне середовище чистим, зменшуючи кількість забруднень, що виділяються під час операцій травлення.

Semicorex надає перевагу зручності користувача, пропонуючи індивідуальні конструкції пластин для травлення з карбіду кремнію ICP, які легко інтегруються з існуючими системами травлення ICP і сумісні з різними конфігураціями. Це забезпечує плавний перехід, що робить його ідеальним рішенням для оновлення для виробників обладнання.