Вакуумний Чак кремнію

Вакуумний патрон Semicorex Silicon Carbide є важливою частиною виробництва напівпровідників для процесів, що потребують високої точності та низького забруднення. Вакуумні залози виготовляються з кераміки з високою чистотою кремнієвої карбіду та забезпечують чудову механічну міцність, теплопровідність та хімічну інертність, а також має точно контрольовану структуру пор для надійної затримки вакууму. Вакуумний карбід кремнію - це функціональний адсорбційний пристрій, виготовлений з кремнієвого карбіду (SIC) керамічного матеріалу, який покладається на негативний тиск вакууму, електростатичне адсорбцію або механічне затискання, щоб забезпечити стабільне розуміння заготовки. Вакуумні залози використовують у напівпровідниках, фотоелектриках, точному виготовленні та інших додатках, які мають надзвичайно високі вимоги до матеріалу високої температурної стійкості, стійкості до зносу та чистоти.

Основакачан- це пористий матеріал SIC, який має передбачуване повітря, що проникає по всій поверхні. Це означає, що можна безпечно адзорувати пластину без механічного затискача і, отже, нематеріалізувати потенціал фізичного пошкодження або забруднення зразка. Пористість матеріалу щільно контролюється - як правило, пористість 35-40% - для забезпечення належного вакуумного розподілу, але також відповідає структурним вимогам для міцного теплового та механічного циклу.

Вафельні вакуумні забиваннязазвичай виготовляються з твердої поверхні з багатьма невеликими отворами або каналами на поверхні. Через ці маленькі отвори патч може бути підключений до вакуумного насоса, що створює вакуумний ефект. Коли пластина розміщується на патроні, вакуумний насос ввімкнено і повітря протягується через невеликі отвори, створюючи вакуум між вафельною та патроном. Цей вакуумний ефект створює достатню кількість всмоктування, щоб міцно прикріпити вафлі до поверхні Чак.

Керамічні поверхні часто використовуються у застосуванні, які потребують високої чистоти та хімічної стабільності. Кераміка-це матеріали, вироблені високотемпературним синтезом корисних копалин. Взагалі, кераміка є електричними ізоляторами або напівпровідниками і має високу стійкість до теплового зриву, ерозії та пошкодження.

Semicorex створює власний кремній карбід вакуумний патрон до специфікацій замовника щодо таких речей, як розміри, пористість, обробка поверхні та візерунки для вакуумного каналізації. Внаслідок наших можливостей для виробництва та чистої кімнати ми пропонуємо найкраще при низькому проливанні частинок та чистоті для розміщення чистоти всіх виробників напівпровідників та обладнання.

Ми можемо зробити патрон для будь-якого розміру вафель, від 2-дюймової до 12-дюймової вафлі та адаптації для інтеграції патрона в безліч обладнання для переробки вафель. Він може бути використаний для процесів та/або зворотних процесів, що робить SIC-вакуумний патрон економічним, точним, стабільним та забрудненим засобами підтримки вафель у напівпровідниковому робочому процесі.

Вакуумний патрон з кремнію є важливим інструментом у сучасному напівпровідниковому виробництві, поєднуючи найкращі матеріали та інженерію. Міцна та прихильна надійність через теплові та хімічні крайнощі роблять його ідеальною підтримкою в процесах процесів, що включають, воскування, витончення, очищення та RTA. Забезпечуючи вакуумний карбід кремнію через Semicorex, ви забезпечуєте найкращу чистоту матеріалу, спеціальні рішення та надійні показники для вищих результатів у всіх ваших лініях обробки вафель.