Вафельний човен з карбіду кремнію

Semicorex розробляє напівпровідникову кераміку для ваших OEM інструментів для напівфабрикатів і компонентів обробки пластин. Наш вафельний човен із карбіду кремнію має хорошу цінову перевагу та покриває багато європейських та американських ринків. Ми з нетерпінням чекаємо можливості стати вашим довгостроковим партнером у Китаї.

Надіслати запит

Опис продукту

Вафельний човен із карбіду кремнію Semicorex, який відрізняється надзвичайно високою чистотою (до 99,99%), чудовою плазмостійкістю та термостійкістю, а також обмеженою появою частинок, використовується в частинах обладнання для обробки напівпровідників, включаючи структурні компоненти та інструменти.
У Semicorex ми зосереджені на забезпеченні високоякісних, економічно ефективних пластин із карбіду кремнію, ми надаємо пріоритет задоволенню клієнтів і пропонуємо економічно ефективні рішення. Ми з нетерпінням чекаємо можливості стати вашим довгостроковим партнером, пропонуючи високоякісні продукти та виняткове обслуговування клієнтів.
Зв’яжіться з нами сьогодні, щоб дізнатися більше про наш вафельний човен із карбіду кремнію.

Параметри вафельного човна з карбіду кремнію

Технічні властивості
Індекс	одиниця	Значення
Назва матеріалу		Реакційний спечений карбід кремнію	Спечений без тиску карбід кремнію	Перекристалізований карбід кремнію
Композиція		RBSiC	SSiC	R-SiC
Насипна щільність	г/см3	3	3,15 ± 0,03	2,60-2,70
Міцність на згин	МПа (kpsi)	338(49)	380(55)	80-90 (20°C) 90-100 (1400°C)
Міцність на стиск	МПа (kpsi)	1120(158)	3970 (560)	> 600
Твердість	Кнопка	2700	2800	/
Порушення наполегливості	МПа м1/2	4.5	4	/
Теплопровідність	Вт/м.к	95	120	23
Коефіцієнт теплового розширення	10^-6.1/°C	5	4	4.7
Питома теплоємність	Джоуль/г 0k	0.8	0.67	/
Максимальна температура повітря	℃	1200	1500	1600
Модуль пружності	Gpa	360	410	240

Різниця між SSiC і RBSiC:

1. Процес спікання відрізняється. RBSiC має просочувати вільний Si в карбід кремнію при низькій температурі, SSiC утворюється природною усадкою при 2100 градусах.

2. SSiC має більш гладку поверхню, вищу щільність і вищу міцність, для деяких ущільнювачів із суворішими вимогами до поверхні SSiC буде кращим.

3. Різний час використання за різного PH і температури, SSiC довше, ніж RBSiC

Особливості вафельного човна з карбіду кремнію

Чудова термостійкість і теплова однорідність
Тонкий кристал SiC з покриттям для гладкої поверхні
High durability against chemical cleaning
Матеріал розроблений таким чином, щоб не було тріщин і розшарувань.