Кремнієві епітаксії

Ви можете бути впевнені, купуючи кремнієві епітаксії на нашому заводі. Silicon Epitaxy Susceptor від Semicorex — це високоякісний продукт високої чистоти, який використовується в напівпровідниковій промисловості для епітаксійного росту пластинчастого чіпа. Наш продукт має чудову технологію покриття, яка забезпечує наявність покриття на всіх поверхнях, запобігаючи відшарування. Продукт стабільний при високих температурах до 1600°C, що робить його придатним для використання в екстремальних умовах.

Надіслати запит

Опис продукту

Наші кремнієві епітаксійні датчики виготовляються методом хімічного осадження з парової фази CVD в умовах високотемпературного хлорування, що забезпечує високу чистоту. Поверхня виробу щільна, з дрібними частинками та високою твердістю, що робить його стійким до корозії до кислот, лугів, солей та органічних реагентів.
Наш продукт розроблено для досягнення найкращої ламінарної моделі потоку газу, що гарантує рівномірність теплового профілю. Наші кремнієві епітаксійні датчики запобігають будь-якому забрудненню або дифузії домішок під час процесу епітаксійного росту, забезпечуючи високоякісні результати.
У Semicorex ми зосереджені на забезпеченні високоякісних, економічно ефективних продуктів для наших клієнтів. Наші кремнієві епітаксичні датчики мають цінову перевагу та експортуються на багато європейських та американських ринків. Ми прагнемо бути вашим довгостроковим партнером, пропонуючи продукти незмінної якості та виняткове обслуговування клієнтів.

Параметри кремнієвих епітаксійних приймачів

Основні характеристики покриття CVD-SIC
Властивості SiC-CVD
Кристалічна структура	FCC β фаза
Щільність	г/см³	3.21
Твердість	Твердість за Віккерсом	2500
Розмір зерна	мкм	2~10
Хімічна чистота	%	99.99995
Теплоємність	Дж кг-1 К-1	640
Температура сублімації	℃	2700
Згинальна сила	МПа (RT 4 точки)	415
Модуль Юнга	Gpa (вигин 4 точки, 1300 ℃)	430
Теплове розширення (C.T.E)	10-6К-1	4.5
Теплопровідність	(Вт/мК)	300

Параметри кремнієвих епітаксійних приймачів

- Уникайте відшаровування та забезпечте покриття на всій поверхні
Стійкість до високотемпературного окислення: стабільна при високих температурах до 1600°C
Висока чистота: виготовлено методом CVD хімічного осадження з парової фази в умовах високотемпературного хлорування.
Стійкість до корозії: висока твердість, щільна поверхня і дрібні частинки.
Стійкість до корозії: кислоти, луги, солі та органічні реагенти.
- Досягнення найкращої ламінарної моделі потоку газу
- Гарантія рівності теплового профілю
- Запобігайте будь-якому забрудненню або дифузії домішок