Графітове покриття TaC створюється шляхом покриття поверхні високочистої графітової підкладки тонким шаром карбіду танталу за допомогою запатентованого процесу хімічного осадження з парової фази (CVD).
Карбід танталу (TaC) - це сполука, яка складається з танталу та вуглецю. Він має металеву електропровідність і надзвичайно високу температуру плавлення, що робить його вогнетривким керамічним матеріалом, відомим своєю міцністю, твердістю, термостійкістю та зносостійкістю. Точка плавлення карбідів танталу досягає максимуму приблизно при 3880°C залежно від чистоти і має одну з найвищих точок плавлення серед бінарних сполук. Це робить його привабливою альтернативою, коли вимоги до більш високих температур перевищують продуктивність, що використовується в епітаксіальних процесах складних напівпровідників, таких як MOCVD і LPE.
Дані матеріалу Semicorex TaC Coating
Проекти |
Параметри |
Щільність |
14,3 (г/см³) |
Коефіцієнт випромінювання |
0.3 |
КТР (×10-6/K) |
6.3 |
Твердість (HK) |
2000 |
Опір (Ом-см) |
1×10-5 |
Термічна стабільність |
<2500 ℃ |
Зміна розміру графіту |
-10~-20um (довідкове значення) |
Товщина покриття |
Типове значення ≥20um (35um±10um) |
|
|
Вищенаведені типові значення |
|
Кільце з покриттям з карбіду танталу Semicorex є ключовим компонентом, який використовується в обробці напівпровідників. Він розроблений зі спеціальним покриттям, яке виконує багато функцій для підвищення ефективності та довговічності графітових компонентів у напівпровідникових машинах. Semicorex прагне надавати якісну продукцію за конкурентоспроможними цінами, ми з нетерпінням чекаємо можливості стати вашим довгостроковим партнером у Китаї.
ДетальнішеНадіслати запитГрафітові деталі з покриттям Semicorex TaC — це прецизійні компоненти, спеціально розроблені, щоб витримувати вимогливе середовище обробки напівпровідників. Semicorex прагне надавати якісну продукцію за конкурентоспроможними цінами, ми з нетерпінням чекаємо можливості стати вашим довгостроковим партнером у Китаї.
ДетальнішеНадіслати запитSemicorex TaC Coating Graphite Cover являє собою передове рішення в області теплових застосувань для росту кристалів і епітаксіальних (епі) процесів. Semicorex прагне надавати якісну продукцію за конкурентоспроможними цінами, ми з нетерпінням чекаємо можливості стати вашим довгостроковим партнером у Китаї.
ДетальнішеНадіслати запитSemicorex TaC Coating Ring є ключовим компонентом у сфері росту монокристалів у тепловому полі. Створене з точністю та інноваціями, це спеціалізоване напрямне кільце відіграє вирішальну роль у складному процесі виробництва монокристалічного матеріалу. Semicorex прагне надавати якісну продукцію за конкурентоспроможними цінами, ми з нетерпінням чекаємо можливості стати вашим довгостроковим партнером у Китаї.
ДетальнішеНадіслати запитВафельний токоприймач із покриттям Semicorex TaC є ключовим компонентом, який використовується в печах металоорганічного хімічного осадження з парової фази (MOCVD) для епітаксійної обробки напівпровідників (epi). Semicorex прагне надавати якісну продукцію за конкурентоспроможними цінами, ми з нетерпінням чекаємо можливості стати вашим довгостроковим партнером у Китаї.
ДетальнішеНадіслати запитПластина з покриттям з карбіду танталу Semicorex TaC — це передове рішення, розроблене для задоволення суворих вимог виробництва напівпровідників, особливо на етапі епітаксіальної (епі) обробки. Semicorex прагне надавати якісну продукцію за конкурентоспроможними цінами, ми з нетерпінням чекаємо можливості стати вашим довгостроковим партнером у Китаї.
ДетальнішеНадіслати запит