Графітове покриття TaC створюється шляхом покриття поверхні високочистої графітової підкладки тонким шаром карбіду танталу за допомогою запатентованого процесу хімічного осадження з парової фази (CVD).
Карбід танталу (TaC) - це сполука, яка складається з танталу та вуглецю. Він має металеву електропровідність і надзвичайно високу температуру плавлення, що робить його вогнетривким керамічним матеріалом, відомим своєю міцністю, твердістю, термостійкістю та зносостійкістю. Точка плавлення карбідів танталу досягає максимуму приблизно при 3880°C залежно від чистоти і має одну з найвищих точок плавлення серед бінарних сполук. Це робить його привабливою альтернативою, коли вимоги до більш високих температур перевищують продуктивність, що використовується в епітаксіальних процесах складних напівпровідників, таких як MOCVD і LPE.
Дані матеріалу Semicorex TaC Coating
Проекти |
Параметри |
Щільність |
14,3 (г/см³) |
Коефіцієнт випромінювання |
0.3 |
КТР (×10-6/K) |
6.3 |
Твердість (HK) |
2000 |
Опір (Ом-см) |
1×10-5 |
Термічна стабільність |
<2500 ℃ |
Зміна розміру графіту |
-10~-20um (довідкове значення) |
Товщина покриття |
Типове значення ≥20um (35um±10um) |
|
|
Вищенаведені типові значення |
|
Semicorex TaC Coating Half-moon — це спеціалізований компонент, виготовлений із графіту, покритого карбідом танталу (TaC), призначений для використання в епітаксіальних процесах. Semicorex прагне надавати якісну продукцію за конкурентоспроможними цінами, ми з нетерпінням чекаємо можливості стати вашим довгостроковим партнером у Китаї.
ДетальнішеНадіслати запитПатрон Semicorex TaC Coating Chuck, передовий вакуумний патрон із покриттям TaC, спеціально розроблений для напівпровідникових печей. Semicorex прагне надавати якісну продукцію за конкурентоспроможними цінами, ми з нетерпінням чекаємо можливості стати вашим довгостроковим партнером у Китаї.
ДетальнішеНадіслати запитВи можете бути впевнені, купуючи епітаксіальну пластину з покриттям TaC на нашому заводі. Епітаксіальна пластина з покриттям Semicorex TaC (карбід танталу) має виняткову термостійкість, що робить її ідеальною для застосувань із високими температурами. Його чудова здатність протистояти нагріванню забезпечує довговічність і надійність у складних умовах. Semicorex прагне надавати якісну продукцію за конкурентоспроможними цінами, ми з нетерпінням чекаємо можливості стати вашим довгостроковим партнером у Китаї.
ДетальнішеНадіслати запитSemicorex TaC Coated Plate — це спеціалізований диск, розроблений для використання в епітаксіальних процесах SiC, виготовлений з високою точністю з високоякісного графітового матеріалу. Його поверхня ретельно покрита карбідом танталу (TaC), сполукою, відомою своєю винятковою чистотою та міцністю. Semicorex прагне надавати якісну продукцію за конкурентоспроможними цінами, ми з нетерпінням чекаємо можливості стати вашим довгостроковим партнером у Китаї.
ДетальнішеНадіслати запитЗажим Semicorex TaC Coating Jig є ключовим компонентом у процесі виробництва напівпровідників, ретельно виготовлений із графіту та зміцнений пружним шаром покриття з карбіду танталу. Цей важливий елемент обладнання втілює в собі поєднання передового матеріалознавства та точної інженерії, призначений для підтримки суворих експлуатаційних вимог і суворих стандартів, поширених у виробництві напівпровідників. Semicorex прагне надавати якісну продукцію за конкурентоспроможними цінами, ми з нетерпінням чекаємо можливості стати вашим довгостроковим партнером у Китаї.
ДетальнішеНадіслати запитSemicorex TaC Coating Susceptor — це вершина в матеріалознавстві, ретельно виготовлена з високоякісного графіту та зміцнена покриттям з карбіду танталу. Цей інноваційний компонент, розроблений насамперед для використання в процесах вирощування кристалів SiC і епітаксійних процесах SiC, є маяком довговічності та продуктивності в екстремальних термічних і хімічних середовищах. Semicorex прагне надавати якісну продукцію за конкурентоспроможними цінами, ми з нетерпінням чекаємо можливості стати вашим довгостроковим партнером у Китаї.
ДетальнішеНадіслати запит