Графітове покриття TaC створюється шляхом покриття поверхні високочистої графітової підкладки тонким шаром карбіду танталу за допомогою запатентованого процесу хімічного осадження з парової фази (CVD).
Карбід танталу (TaC) - це сполука, яка складається з танталу та вуглецю. Він має металеву електропровідність і надзвичайно високу температуру плавлення, що робить його вогнетривким керамічним матеріалом, відомим своєю міцністю, твердістю, термостійкістю та зносостійкістю. Точка плавлення карбідів танталу досягає максимуму приблизно при 3880°C залежно від чистоти і має одну з найвищих точок плавлення серед бінарних сполук. Це робить його привабливою альтернативою, коли вимоги до більш високих температур перевищують продуктивність, що використовується в епітаксіальних процесах складних напівпровідників, таких як MOCVD і LPE.
Дані матеріалу Semicorex TaC Coating
Проекти |
Параметри |
Щільність |
14,3 (г/см³) |
Коефіцієнт випромінювання |
0.3 |
КТР (×10-6/K) |
6.3 |
Твердість (HK) |
2000 |
Опір (Ом-см) |
1×10-5 |
Термічна стабільність |
<2500 ℃ |
Зміна розміру графіту |
-10~-20um (довідкове значення) |
Товщина покриття |
Типове значення ≥20um (35um±10um) |
|
|
Вищенаведені типові значення |
|
Semicorex TaC-покриття Halfmoon пропонує переконливі переваги в епітаксіальному вирощуванні карбіду кремнію (SiC) для силової електроніки та радіочастотних застосувань. Ця комбінація матеріалів вирішує критичні проблеми епітаксії SiC, забезпечуючи високу якість пластин, покращену ефективність процесу та зниження витрат на виробництво. Ми в Semicorex націлені на виробництво та постачання високопродуктивних Halfmoon із покриттям TaC, які поєднують якість із економічною ефективністю.**
ДетальнішеНадіслати запитУщільнювальне кільце з покриттям Semicorex TaC, застосоване до ущільнювальних компонентів, забезпечує виняткову продуктивність у складних умовах виробництва напівпровідників. Покриття TaC вирішує критичні проблеми, пов’язані з хімічною стійкістю, екстремальними температурами та механічним зношуванням, забезпечуючи вищу продуктивність процесу, збільшуючи час безвідмовної роботи обладнання та, зрештою, знижуючи витрати на виробництво. Ми в Semicorex націлені на виробництво та постачання високоефективних ущільнювальних кілець із покриттям TaC, які поєднують якість із економічною ефективністю.**
ДетальнішеНадіслати запитСуцептор із покриттям з карбіду танталу Semicorex є критично важливим компонентом, який відіграє ключову роль у процесах осадження, необхідних для створення напівпровідникових пластин. Semicorex прагне надавати якісну продукцію за конкурентоспроможними цінами, тому ми з нетерпінням чекаємо можливості стати вашим довгостроковим партнером у Китаї*.
ДетальнішеНадіслати запитПатрон із карбіду танталу Semicorex — це передовий компонент, який використовується в обладнанні для виробництва напівпровідників і відомий своїми винятковими термічними та механічними властивостями. Semicorex прагне надавати якісну продукцію за конкурентоспроможними цінами, тому ми з нетерпінням чекаємо можливості стати вашим довгостроковим партнером у Китаї*.
ДетальнішеНадіслати запитКільце з покриттям Semicorex TaC є критично важливим компонентом, який відповідає цим вимогам. Semicorex прагне надавати якісну продукцію за конкурентоспроможними цінами, тому ми з нетерпінням чекаємо можливості стати вашим довгостроковим партнером у Китаї*.
ДетальнішеНадіслати запитДушова лійка з покриттям Semicorex TaC є невід’ємною частиною процесу хімічного осадження з парової фази, забезпечуючи неперевершену продуктивність і довговічність. Semicorex прагне надавати якісну продукцію за конкурентоспроможними цінами, тому ми сподіваємося стати вашим довгостроковим партнером у Китаї*.
ДетальнішеНадіслати запит