Вертикальний вафельний кораблик

Semicorex Vertical Wafer Boat — це спеціально розроблений носій для кількох пластин, який максимізує ефективність використання простору в обробних камерах. Ці вертикальні вафельні човни зазвичай мають прямокутну або циліндричну форму, і кожен човен має точно оброблені прорізи або кишені, які розташовані на відстані, щоб надійно утримувати окремі вафлі у вертикальному положенні. Вертикальний вафельний човен виготовлений з карбіду кремнію (SiC), який забезпечує чудову стійкість до високих температур, корозійних хімічних речовин і механічного впливу, що робить їх ідеальними для захисту пластин від потенційного пошкодження.

Під час виготовлення напівпровідників пластини піддаються численним складним процесам, включаючи дифузію, RTP і теплові поля. Вертикальний вафельний човен відіграє важливу роль у полегшенні цих процесів, слугуючи носієм для вафель, забезпечуючи безперешкодне переміщення між різним обладнанням і етапами. Його вертикальна орієнтація мінімізує площу робочих камер, оптимізуючи пропускну здатність і забезпечуючи ефективну обробку великих партій пластин.

Вертикальний вафельний човен Semicorex є наріжним каменем обробки напівпровідників, що забезпечує міцне та надійне рішення для безпечного поводження та транспортування пластин на різних етапах виготовлення. Його передовий дизайн у поєднанні з винятковими властивостями SiC підкреслює його ключову роль у виробництві передових напівпровідникових пристроїв.