Вафельні човни

Самоносні човни Semicorex, виготовлені з карбіду з високою чистотою кремнію (SIC), є важливими компонентами у виготовленні напівпровідників. Напівпровідникові процеси, в яких вони використовуються, зазвичай включають високотемпературні та корозійні середовища, такі як дифузія, окислення та процеси LPCVD. Застосування вафельних човнів SIC було розроблено для досягнення максимальної термічної стійкості та хімічної стійкості, що дозволяє оптимальну підтримку, вирівнювання та транспорт кремнієвих вафель під час обробки для оптимальних врожаїв та продуктивності пристрою.

Карбід кремнію добре задокументована як відмінна термічно провідна кераміка, виявляючи високу механічну міцність та верхню стійкість до термічного удару, стійкість до окислення та агресивну хімічну стійкість з хімічними речовинами, такими як HF та HCL. Властивості SIC роблять його особливо привабливим як матеріал для вафельних човнів для процесів виготовлення напівпровідників нового покоління та у високотемпературних умовах. Сирові вафельні човни можуть підтримувати конструкційну цілісність та розмірність при температурі процесу> 1500 ° C, мінімізуючи ризик викривлення або забруднення вафель у критичних термічних обробках.

Кожен SICвафельвиготовляється з SIC з високою чистотою за допомогою вдосконалених процесів формування кераміки та спікання, і може бути розроблений для великого діаметрів пластин (100 мм, 150 мм, 200 мм, 300 мм), а також конфігурації укладання, будь то вертикальні чи горизонтальні. Наші вафельні човни SIC мають плавні поверхні та відмінну площину, що мінімізує генерацію частинок і ідеально підходить для автоматизованих систем обробки вафель.

Контроль та врожайність забруднення - це дві найважливіші проблеми в сучасних FAB. Чистота та надійність носіїв SIC впливає на продуктивність якості та послідовності продуктів.  В вафельні човни SIC мають набагато краще довговічність для використання, мають менше вимог до обслуговування та нижчого TCO, ніж альтернативи на основі кварцу або глинозему. Краще довголіття також означає менше проблем із проливанням мікрочастинки, тому знову ж таки впливаючи на чистоту поверхні вафлі та впливають на чисту чистоту приміщення.

Semicorex зосереджений на розробці та виготовленні вафельних човнів SIC, які використовують максимально можливу сировину чистоти в поєднанні з низьким спіканням атмосфери забруднення.  Ми докладаємо всіх зусиль, щоб підтримувати низький рівень домішок, підтримувати пористість з низькою цінністю та рівномірну мікроструктуру, щоб робота команди може регулярно насолоджуватися послідовними тепловими характеристиками, точним відстані вафель та неперевершеною стійкістю до деградації.

Semicorex sicвафельні човниє необхідним елементом високої температурної обробки напівпровідників. Силіконові вафельні човни з високою чистотою мають безпрецедентні матеріальні характеристики, інженерну досконалість та темперамент без мікро забруднень, роблять їх високим рівнем вибору високого продуктивного виготовлення вафель. Semicorex забезпечує надійність та інноваційну високу продуктивність для підтримки ваших найважливіших напівпровідникових процесів.